[发明专利]用于镀膜设备的破真空装置及镀膜设备在审
申请号: | 202310164161.3 | 申请日: | 2023-02-24 |
公开(公告)号: | CN116463591A | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 冯晓军;闫宁宁;李伟 | 申请(专利权)人: | 三一硅能(株洲)有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/455 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 龚利波 |
地址: | 412000 湖南省株洲市石峰区铜塘*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 镀膜 设备 真空 装置 | ||
本发明涉及镀膜技术领域,提供一种用于镀膜设备的破真空装置及镀膜设备,包括与供气设备相连接的输气管路,输气管路用于向镀膜设备的第二腔室内输送气体;其中,输气管路至少包括第一管路节段,第一管路节段的进气端小于其出气端的截面面积,第一管路节段的进气端与供气设备相连接,出气端用于与第二腔室相连接。在进行破真空作业时,供气设备通过输气管路将气流输送至第二腔室内,气流在经过输气管路中的第一管路节段时,由于其进气端小于出气端的截面面积,则出气端截面变大使气流的流速降低,大幅降低了气流对第二腔室的冲击,解决了电池片易被吹偏、吹碎的缺陷,降低了电池片的破片率。
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种用于镀膜设备的破真空装置及镀膜设备。
背景技术
现有的镀膜设备在镀膜生产过程中,负责电池片出料的腔室每个生产节拍均需抽真空1次、破真空恢复大气压1次,以完成连续生产。为缩短破真空恢复大气压时间以提高产量,现有破真空装置一般是将充气管道的口径做大,进而能够在短时间内充入大量气流。
然而,由于气流经充气管道直接充入镀膜设备中电池片出料腔室时,气流的流速较快且冲击力大,易吹偏、吹碎腔室内镀膜载体上放置的电池片,因此目前通过在管道出气端设置挡板对气流进行分流,但分流后的气流仍存在流速快、冲击力大的问题,依旧会对镀膜载体上放置的电池片造成影响,进而导致电池片镀膜质量差,破片率高,严重影响产品的产量和质量,并造成原材料的巨大浪费和生产成本的上升。
发明内容
本发明提供一种用于镀膜设备的破真空装置及镀膜设备,用以解决现有技术中受充入的破真空气流流速快、冲击力大的影响,造成镀膜载体上放置的电池片易被吹偏、吹碎的缺陷,实现避免气流对出料腔体室内电池片的冲击,降低电池片的破片率。
本发明提供一种用于镀膜设备的破真空装置,包括与供气设备相连接的输气管路,所述输气管路用于向镀膜设备的第二腔室内输送气体;其中,所述输气管路至少包括第一管路节段,所述第一管路节段的进气端小于其出气端的截面面积,所述第一管路节段的进气端与所述供气设备相连接,出气端用于与所述第二腔室相连接。
根据本发明提供的一种用于镀膜设备的破真空装置,所述输气管路还包括与所述第一管路节段的出气端相连接的第二管路节段,所述第二管路节段与所述第一管路节段之间具有夹角,所述第二管路节段用于与所述第二腔室相连接。
根据本发明提供的一种用于镀膜设备的破真空装置,所述输气管路还包括与所述第一管路节段的进气端相连接的第三管路节段,所述第一管路节段与所述第三管路节段之间具有夹角,所述第三管路节段与所述供气设备相连接。
本发明还提供一种镀膜设备,包括:
第二腔室;
镀膜载体,设置于所述第二腔室内;以及上述的用于镀膜设备的破真空装置。
根据本发明提供的一种镀膜设备,还包括设置于所述第二腔室内部的第一腔室,所述第一腔室上设有多个与所述第一腔室的内部相连通的气流通道,且所述气流通道与所述第二腔室相连通。
根据本发明提供的一种镀膜设备,所述第二腔室内对称设有两个所述第一腔室,所述镀膜载体位于两所述第一腔室之间。
根据本发明提供的一种镀膜设备,所述输气管路的出气端设有挡板,所述输气管路的出气端与所述挡板之间具有间隙,且所述挡板位于所述第一腔室内。
根据本发明提供的一种镀膜设备,所述第二腔室包括相连通的第一腔体和第二腔体,所述第一腔室和所述镀膜载体均位于所述第一腔体内,所述第二腔体内设有填充物料。
根据本发明提供的一种镀膜设备,所述第一腔室包括设置于所述第二腔室内侧壁的多个挡条,多个所述挡条之间围成所述第一腔室的内部空间,且多个所述挡条之间设有封板,所述气流通道设置于所述封板上。
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