[发明专利]一种电极加工用预清洗设备及清洗工艺

权利要求书

1.一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：包括清洗箱(1)；所述清洗箱(1)上设有容纳处理液的第一腔体(11)；所述第一腔体(11)靠近顶面的内侧壁上固接有淋喷管(2)；所述淋喷管(2)外侧壁上固接有与淋喷管(2)内部连通的喷头(21)；所述清洗箱(1)顶部设置有顶板(3)；所述顶板(3)底面设置有电推杆(31)；所述电推杆(31)安装在清洗箱(1)顶面上，电推杆(31)输出端与顶板(3)底面连接；所述顶板(3)侧壁上连接有连接板(4)；所述连接板(4)远离顶板(3)的端部固接有可伸入第一腔体(11)内的垫板(41)；所述垫板(41)底面设置有可对掩膜版进行固定的夹持组件(5)；所述清洗箱(1)外侧壁上设置有可将第一腔体(11)内的处理液输送至淋喷管(2)内的输液机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述第一腔体(11)内侧壁上固接有挡板(12)；所述挡板(12)上设置有开口(121)；所述开口(121)内侧壁上固接有过滤网(13)；所述输液机构(6)包括泵体(61)；所述泵体(61)安装在清洗箱(1)外侧壁上，泵体(61)输入端固接有进液管(62)，泵体(61)输出端固接有出液管(63)；所述进液管(62)远离泵体(61)的端部贯穿清洗箱(1)侧壁和挡板(12)后伸至挡板(12)底部；所述出液管(63)远离泵体(61)的端部与淋喷管(2)内部连通。

3.根据权利要求1所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述夹持组件(5)包括夹持块(51)；所述夹持块(51)固接在垫板(41)底面，夹持块(51)底面设有插槽(511)；所述插槽(511)内侧壁设有螺纹通孔(512)；所述螺纹通孔(512)内侧壁上螺纹连接有紧固螺钉(52)。

4.根据权利要求2所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)上设置有第二腔体(14)；所述顶板(3)外侧壁上设有滑槽(32)，顶板(3)一端安装有第一电机(33)；所述第一电机(33)输出端固接有伸入滑槽(32)内的丝杆(34)；所述丝杆(34)外部套设有与滑槽(32)内侧壁滑动配合的滑块(35)；所述滑块(35)与丝杆(34)螺纹传动配合；所述连接板(4)远离垫板(41)的端部与滑块(35)固接。

5.根据权利要求4所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述清洗箱(1)底面安装有第二电机(15)；所述第二电机(15)输出端固接有伸入第二腔体(14)内的第一转轴(151)；所述第一转轴(151)外侧壁上固接有搅拌板(152)。

6.根据权利要求5所述的一种电极加工用预清洗设备，其特征在于：所述第一腔体(11)底端内侧壁上设有通孔(111)；所述通孔(111)内侧壁上滑动连接有滑板(16)；所述滑板(16)顶端伸至第一腔体(11)内，滑板(16)伸至第一腔体(11)内的端部固接有可撞击挡板(12)底面的撞击块(161)；所述清洗箱(1)底面固接有位于通孔(111)底部的凹形壳(17)；所述滑板(16)远离撞击块(161)的端部伸至凹形壳(17)内部；所述凹形壳(17)内设置可挤压滑板(16)上移的挤压机构(7)；所述滑板(16)侧壁上固接有直板(162)；所述直板(162)顶面通过第一弹簧(163)与清洗箱(1)底面连接。