[发明专利]一种紫外光电子能谱样品制备检测方法在审
| 申请号： | 202310178523.4 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116482145A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 杨文超;宋世杰;唐梦奇;湛永钟;何欢 | 申请（专利权）人： | 广西大学;南宁海关技术中心 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/2273 |
| 代理公司： | 北京沃知思真知识产权代理有限公司 11942 | 代理人： | 高小艳 |
| 地址： | 530004 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光电子 样品 制备 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：首先布置一个真空腔室，然后在真空腔室的底部放置加热装置，加热装置上放置加热容器，然后在真空腔室的顶部安装一个衬底；
S2：在真空腔室的加热容器内加入待检测材料，然后将真空腔室内抽真空；
S3：最后启动加热装置，使得加热容器内承装的检测材料受热蒸发，并漂浮至衬底朝下的一面冷凝；
S4：在蒸发完全后，关闭加热装置，打开真空腔室，并取出衬底，将衬底冷凝后，对含有蒸发材料的一面进行紫外光电子能谱检测。
2.根据权利要求1所述的一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，其特征在于，所述S1中的加热装置选用电加热装置，以避免对氧气的需求，同时加热容器选用高导热材料，以便于高速加热。
3.根据权利要求1所述的一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，其特征在于，所述S1中的衬底选用硅片。
4.根据权利要求1所述的一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，其特征在于，所述S1中的待检测材料为可受热蒸发的各种金属、非金属材料。
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