[发明专利]一种紫外光电子能谱样品制备检测方法

说明书

本发明公开了一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，涉及紫外光电子能谱检测领域，解决了现有的紫外光电子能谱样品检测不能方便对粉末或者不溶性材料进行高效检测的问题，现提出如下方案，其通过将一些可以受热蒸发的材料，置于真空环境内加热，然后通过将材料受热而蒸发的整齐冷凝在上方设置的衬底中，然后在对衬底进行检测，而实现都粉末等不溶性材料进行高效灵活的检测。本方法具有方便对粉末等不溶性材料进行高效灵活的检测，而有效的提高了紫外光电子能谱样品检测的检测材料应用范围的特点。

技术领域

本发明涉及紫外光电子能谱检测领域，尤其涉及一种紫外光电子能谱样品制备检测方法。

背景技术

紫外光电子能谱技术(Ultra-Violet Photoelectron Spectroscopy，UPS)是一种十分重要的表面分析技术，常用于分析样品外壳层轨道结构，能带结构，空态分布和表面态情况的光电子谱。

UPS测试对样品制备要求非常严格，在现有的检测技术中，一般只方便对一些块状固体形态的材料进行检测，而不方便对一些粉末进行高效检测。因此提出一种紫外光电子能谱检测粉末样品制备方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，解决了现有的紫外光电子能谱样品检测不能方便对粉末或者不溶性材料进行高效检测的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，包括以下步骤：

S1：首先布置一个真空腔室，然后在真空腔室的底部放置加热装置，加热装置上放置加热容器，然后在真空腔室的顶部安装一个衬底；

S2：在真空腔室的加热容器内加入待检测材料，然后将真空腔室内抽真空；

S3：最后启动加热装置，使得加热容器内承装的检测材料受热蒸发，并漂浮至衬底朝下的一面冷凝；

S4：在蒸发完全后，关闭加热装置，打开真空腔室，并取出衬底，将衬底冷凝后，对含有蒸发材料的一面进行紫外光电子能谱检测。

优选的，所述S1中的加热装置选用电加热装置，以避免对氧气的需求，同时加热容器选用高导热材料，以便于高速加热。

优选的，所述S1中的衬底选用硅片。

优选的，所述S1中的待检测材料为可受热蒸发的各种金属、非金属材料。

与相关技术相比较，本发明提供的一种紫外光电子能谱样品制备检测方法具有如下有益效果：

本发明提供一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，通过将一些可以受热蒸发的材料，置于真空环境内加热，然后通过将材料受热而蒸发的整齐冷凝在上方设置的衬底中，然后在对衬底进行检测，而实现都粉末等不溶性材料进行高效灵活的检测。

使得本方法具有方便对粉末等不溶性材料进行高效灵活的检测，而有效的提高了紫外光电子能谱样品检测的检测材料应用范围的特点。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：

本发明提供一种技术方案：一种紫外光电子能谱样品制备检测方法，包括以下步骤：

S1：首先布置一个真空腔室，然后在真空腔室的底部放置加热装置，加热装置上放置加热容器，然后在真空腔室的顶部安装一个衬底；

S2：在真空腔室的加热容器内加入待检测材料，然后将真空腔室内抽真空；