[发明专利]一种真空镀膜用旋转掩膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴(1)，其特征在于，所述转轴(1)的外壁通过轴承转动连接有转筒(2)，所述转筒(2)的外壁固定套设有基片架(3)，所述基片架(3)的表面开设有多个基片槽，所述，所述转轴(1)的下端杆壁套设有套筒(4)，所述转筒(2)的外壁固定套设有环板(5)，所述环板(5)的侧壁固定连接有多个挡板(6)，所述挡板(6)的外壁固定连接有多个环圈(7)，所述转筒(2)的侧壁开设有多个竖孔(8)，所述竖孔(8)的内壁通过螺母固定连接有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)的下端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的下端固定连接有卡块(10)，所述卡块(10)的下侧壁固定连接有弧形块(11)，所述环板(5)的上侧壁开设有多个与弧形块(11)相互匹配的弧形槽(12)，所述基片架(3)和环板(5)相互远离一侧的侧壁均固定连接有阻挡圈(13)，所述基片架(3)和环板(5)外套设有两个弧形框(14)，两个所述弧形框(14)的外壁均固定连接有两个限位块(15)，位于同一侧两个所述限位块(15)外套设有同一个限位筒(16)，所述限位筒(16)的内壁开设有定位槽，所述定位槽内插接有定位板(17)，所述定位板(17)和限位块(15)相对一侧的侧壁均固定连接有多个相互匹配的卡齿(18)，所述定位板(17)和定位槽之间固定连接有同一根第二弹簧。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述限位筒(16)的上侧壁固定连接有把手(19)，所述把手(19)的内壁通过第三弹簧固定连接有按压板(20)，所述按压板(20)的左右两侧均固定连接有弯杆(21)，所述弯杆(21)远离按压板(20)的一侧和把手(19)滑动连接，所述弯杆(21)和定位板(17)相对一侧的侧壁固定连接有同一根拉绳(22)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述限位筒(16)的内壁固定连接有两个卡位杆(23)，所述限位块(15)的侧壁开设有与卡位杆(23)相互匹配的卡位槽。

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述按压板(20)的侧壁固定连接有限位导杆(24)，所述把手(19)的侧壁固定连接有与限位导杆(24)相互匹配的限位导筒(25)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述限位筒(16)的外壁固定连接有多个导向轮(26)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述弧形框(14)的内壁固定连接有橡胶垫(27)。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述弧形框(14)的内壁固定连接有稳定块(28)，所述基片架(3)的侧壁开设有稳定槽。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置，其特征在于，所述弧形框(14)的外壁固定连接有拉手(29)。