[发明专利]一种真空镀膜用旋转掩膜装置

说明书

本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个基片槽，所述，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述转筒的外壁固定套设有环板，所述环板的侧壁固定连接有多个挡板。本发明能够在基片架在从生产线上生产下来之后，需要将基片架运输到各地之间，将弧形框罩设在基片架的外侧，从而对基片架表面的基片槽进行保护，避免外界的灰尘等颗粒物容易附着在基片槽内，需要操作人员进行清理，大大减少了操作人员的工作量，而且能够对基片架和掩膜板进行保护，避免基片架和掩膜板因为磕碰而损坏，减少材料的浪费。

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置。

背景技术

一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。

在授权专利200620097014.0提出的一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽,转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点；该装置中基片架在从生产线上生产下来之后，需要将基片架运输到各地，基片架表面的基片槽和掩膜板等部件都直接裸露在外界，外界的灰尘等颗粒物容易附着在基片槽内，需要操作人员进行清理，而且基片架和掩膜板在运输过程中容易被磕碰到，从而造成掩膜装置的损坏。

为此，我们提出一种真空镀膜用旋转掩膜装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种真空镀膜用旋转掩膜装置。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个基片槽，所述，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述转筒的外壁固定套设有环板，所述环板的侧壁固定连接有多个挡板，所述挡板的外壁固定连接有多个环圈，所述转筒的侧壁开设有多个竖孔，所述竖孔的内壁通过螺母固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的下端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的下端固定连接有卡块，所述卡块的下侧壁固定连接有弧形块，所述环板的上侧壁开设有多个与弧形块相互匹配的弧形槽，所述基片架和环板相互远离一侧的侧壁均固定连接有阻挡圈，所述基片架和环板外套设有两个弧形框，两个所述弧形框的外壁均固定连接有两个限位块，位于同一侧两个所述限位块外套设有同一个限位筒，所述限位筒的内壁开设有定位槽，所述定位槽内插接有定位板，所述定位板和限位块相对一侧的侧壁均固定连接有多个相互匹配的卡齿，所述定位板和定位槽之间固定连接有同一根第二弹簧。

在上述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置中，，所述限位筒的上侧壁固定连接有把手，所述把手的内壁通过第三弹簧固定连接有按压板，所述按压板的左右两侧均固定连接有弯杆，所述弯杆远离按压板的一侧和把手滑动连接，所述弯杆和定位板相对一侧的侧壁固定连接有同一根拉绳。

在上述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置中，，所述限位筒的内壁固定连接有两个卡位杆，所述限位块的侧壁开设有与卡位杆相互匹配的卡位槽。

在上述的一种真空镀膜用旋转掩膜装置中，，所述按压板的侧壁固定连接有限位导杆，所述把手的侧壁固定连接有与限位导杆相互匹配的限位导筒。