[发明专利]一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质

说明书

本发明公开了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。方法包括：获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；提取扫描图像中标记点的观测位置信息；基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。本方案通过对扫描电镜下集成电路图像确定失真校正点的位置和尺寸和失真校正点的理想不失真位置和尺寸，以及理想不失真图像和失真图像之间的映射关系，解决了扫描电镜成像的过程存在的透镜畸变等问题，提高了图像校正的高效性。

技术领域

本发明涉及图像处理技术领域，尤其涉及一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。

背景技术

智能化已成为当今集成电路反向工程的主流趋势，即采用计算机视觉的方法来做图像分割、点线识别、元件识别等。

集成电路反向工程是通过对芯片内部电路的提取与分析、整理，实现对芯片技术原理、设计思路、工艺制造、结构机制等方面的深入洞悉。目前，扫描电镜在获得集成电路图像时，需要逐个区域进行扫描，最后通过拼接获得完整图像。

在扫描电镜成像的过程中电磁透镜存在透镜畸变，对精确成像带来困难，进而影响后续的拼接任务，降低图像校正的效率。

发明内容

本发明提供了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质，以解决了扫描电镜下扫描图像的畸变问题。

根据本发明的一方面，提供了一种图像校正方法，包括：

获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；

提取扫描图像中标记点的观测位置信息；

基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；

基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。

可选的，提取扫描图像中标记点的观测位置信息，包括：

对扫描图像进行二值化处理，得到二值化图像；

确定二值化图像中的连通域，提取各个连通域的中心点位置信息作为标记点的观测位置信息。

可选的，在确定二值化图像中的连通域之前，还包括：

对二值化图像进行膨胀处理和腐蚀处理。

可选的，在对扫描图像进行二值化处理之前，方法还包括：

对扫描图像进行图像增强处理，图像增强处理包括图像锐化处理。

可选的，基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，包括：

基于扫描图像中的中心区域内，同一行/列的两个标记点的观测位置信息，以及两个标记点之间的间隔数量，确定相邻标记点之间的分布间距。

可选的，基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息，包括：

基于扫描图像的中心点坐标、分布间距和标记点与中心点之间的间隔数量，确定标记点的实际位置信息。

可选的，方法还包括：

获取集成电路板的扫描图像；

基于校正矩阵对集成电路板的扫描图像进行校正处理。

根据本发明的另一方面，提供了一种图像校正装置，包括：

扫描图像获取模块，用于获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；