[发明专利]流程工艺处理方法、装置及设备

权利要求书

1.一种流程工艺处理方法，其特征在于，包括：

获取生产过程控制的输入变量对应的对齐偏移量，以及多个第一采样时刻下的输出变量的测量值；

根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值，对所述输入变量和所述输出变量进行对齐融合处理，得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量与所述输出变量的数据融合矩阵，所述数据融合矩阵用于指示所述输入变量与所述输出变量之间的函数对应关系；

根据预设工艺条件、所述多个第一采样时刻下所述输出变量的目标值和所述数据融合矩阵，确定所述输入变量的设定值；

所述根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值，对所述输入变量和所述输出变量进行对齐融合处理，得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量与所述输出变量的数据融合矩阵，包括：

根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻，确定所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间；

根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间，以及所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值，得到所述数据融合矩阵；

所述根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻，确定所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间，包括：

根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻，确定所述输入变量与各所述第一采样时刻下的输出变量之间的对齐时刻；

根据所述对齐时刻和预设时长，确定所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间；

所述根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间，以及所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值，得到所述数据融合矩阵，包括：

根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间，得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样值，针对任意第一采样时刻下所述输入变量的采样区间，所述第一采样时刻下所述输入变量的采样值包括输入变量的第二采样时刻位于所述采样区间内的多个采样值；

根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样值和所述输出变量的测量值，得到所述数据融合矩阵。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据预设工艺条件、所述多个第一采样时刻下所述输出变量的目标值和所述数据融合矩阵，确定所述输入变量的设定值，包括：

根据所述数据融合矩阵，确定所述输入变量和所述输出变量之间的优化控制函数；

根据所述输出变量的目标值、所述优化控制函数和所述预设工艺条件，确定所述输入变量的设定值。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述数据融合矩阵，确定所述输入变量和所述输出变量之间的优化控制函数，包括：

根据所述数据融合矩阵，确定所述输入变量和所述输出变量之间的初始控制函数；

根据所述输入变量的实时值和所述输出变量的实测值，对所述初始控制函数进行实时更新，得到所述优化控制函数。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述输入变量的实时值和所述输出变量的实测值，对所述初始控制函数进行实时更新，得到所述优化控制函数，包括：

执行至少一次第一操作，任意第i次第一操作包括：根据所述输入变量的实时值和第i轮控制函数，获取所述输出变量的预测值；所述i为大于或等于1的整数，第1轮控制函数为所述初始控制函数；

在所述输出变量的预测值与所述输出变量的实测值之间的差值大于或等于预设值时，根据所述差值对所述第i轮控制函数更新，得到第i+1轮控制函数，并根据所述第i+1轮控制函数执行第i+1次第一操作；

在所述输出变量的预测值与所述输出变量的实测值之间的差值小于所述预设值时，将所述第i轮控制函数确定为所述优化控制函数。