[发明专利]流程工艺处理方法、装置及设备有效
申请号: | 202310215775.X | 申请日: | 2023-03-08 |
公开(公告)号: | CN115877811B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 张善贵;樊泳;刘聪;雷鸣 | 申请(专利权)人: | 北京东方国信科技股份有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;G06F18/25 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晓霞 |
地址: | 100102 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流程 工艺 处理 方法 装置 设备 | ||
本申请提供一种流程工艺处理方法、装置及设备,涉及工艺控制技术领域,该方法包括:获取生产过程控制的输入变量对应的对齐偏移量,以及多个第一采样时刻下的输出变量的采样值;根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻下的输出变量的采样值,对所述输入变量和所述输出变量进行对齐融合处理,得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量与所述输出变量的数据融合矩阵,所述数据融合矩阵用于指示所述输入变量与所述输出变量之间的对应关系;根据预设工艺条件、所述多个第一采样时刻下所述输出变量的目标值和所述数据融合矩阵,确定所述输入变量的设定值。提高了流程工艺优化控制的效果。
技术领域
本申请涉及工艺控制技术领域,尤其涉及一种流程工艺处理方法、装置及设备。
背景技术
流程工艺优化控制是流程制造行业非常重要的一项技术,流程工艺控制中包括输入变量和输出变量,其中输入变量为流程工艺的操作变量,输出变量为流程工艺的被控变量。
流程工艺中的输出变量与输入变量之间具有因果关系,基于不同的输入变量经过相应的工艺处理后将得到不同的输出变量。因此,在流程工艺中,可以通过优化输入变量的值控制输出变量的值,来达到优化流程工艺的目的。
目前的流程工艺优化控制中,输入变量的值通常的由人工根据经验值进行输入的,过于依赖人的经验,导致流程工艺优化控制的效果不佳。
发明内容
本申请提供一种流程工艺处理方法、装置及设备,用以解决现有技术中输入变量的值过于依赖人的经验,导致流程工艺优化控制的效果不佳的问题。
第一方面,本申请提供一种流程工艺处理方法,包括:
获取生产过程控制的输入变量对应的对齐偏移量,以及多个第一采样时刻下的输出变量的测量值;
根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值,对所述输入变量和所述输出变量进行对齐融合处理,得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量与所述输出变量的数据融合矩阵,所述数据融合矩阵用于指示所述输入变量与所述输出变量之间的函数对应关系;
根据预设工艺条件、所述多个第一采样时刻下所述输出变量的目标值和所述数据融合矩阵,确定所述输入变量的设定值。
在一种可能的实施方式中,所述根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值,对所述输入变量和所述输出变量进行对齐融合处理,得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量与所述输出变量的数据融合矩阵,包括:
根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻,确定所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间;
根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间,以及所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值,得到所述数据融合矩阵。
在一种可能的实施方式中,所述根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻,确定所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间,包括:
根据所述对齐偏移量和所述多个第一采样时刻,确定所述输入变量与各所述第一采样时刻下的输出变量之间的对齐时刻;
根据所述对齐时刻和预设时长,确定所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间。
在一种可能的实施方式中,所述根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间,以及所述多个第一采样时刻下的输出变量的测量值,得到所述数据融合矩阵,包括:
根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样区间,得到所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样值,针对任意第一采样时刻下所述输入变量的采样区间,所述第一采样时刻下所述输入变量的采样值包括输入变量的第二采样时刻位于所述采样区间内的多个采样值;
根据所述多个第一采样时刻下所述输入变量的采样值和所述输出变量的测量值,得到所述数据融合矩阵。
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