[发明专利]一种半导体厂务数据合理监控设定的方法

权利要求书

1.一种半导体厂务数据合理监控设定的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

(1)明确厂务端水、电、气与设备端供应的关系；

(2)明确厂务端与设备端的传输方式，包含是否共用电缆及共用电缆的设备列表，是否共用水路及共用水路的设备列表，是否共用气路及共用气路的设备列表；

(3)针对有共用传输装置的长度端及设备端做对应的数据收集，包含水、电、气及其他供应数据；

(4)针对不同传输装置分别建立数据模型，模拟传输装置的损耗函数

(5)损耗函数为多维矩阵函数，包含了厂务端和设备端的各种对应关系(一对一，一对多，多对一，多对多)，对于不同的供应输送装置，可以建立不同的函数。输送装置已经包含输送路径的管路、输送管路的开关装置和转换装置以及输送中的损耗；

(6)一种物理的输送装置对应一个损耗函数模型，例如一组供电电缆为一个模型，一根供水水管为一个模型，一根供气管路为一个模型；

(7)基本简化模型如下：厂务端数据F(N)＝输送损耗数据T(I)+设备端数据E(M)；

(8)矩阵函数模型如下：

2.根据权利要求1所述的一种半导体厂务数据合理监控设定的方法，其特征在于，对于一个厂务端对应一台设备的情况，就可以简化为：

F(N)＝T×M+E(M)

其中：

——F(N)为厂务端供应函数

——T为从厂务到设备端的损耗函数

——E(M)为设备端运行所需要的条件数据

——N为厂务端的供应端编号，N₁，N₂，N₃，....，N_N

——M为设备端的设备编号，M₁，M₂，M₃，....，M_M。

3.根据权利要求1所述的一种半导体厂务数据合理监控设定的方法，其特征在于，对于一个厂务端对应M台设备的情况，就可以简化为：

其中：

——F(N)为厂务端供应函数

——T为从厂务到设备端的损耗函数

——E(M)为设备端运行所需要的条件数据

——N为厂务端的供应端编号，N₁，N₂，N₃，....，N_N

——M为设备端的设备编号，M₁，M₂，M₃，....，M_M。