[发明专利]探针位置校验方法、系统、电子设备及存储介质

说明书

本申请实施例提供了一种探针位置校验方法、系统、电子设备及存储介质，属于自动化测试设备技术领域，方法包括：在校准板上确定第一初始视野中心；获取目标探针的预设坐标偏移量，根据预设坐标偏移量和第一初始视野中心确定扎针位置坐标；移动目标探针至扎针位置坐标处进行扎针，并基于第一初始视野中心获取扎针后的扎针图像；从扎针图像中确定目标探针扎针后的痕迹坐标，根据痕迹坐标和第一初始视野中心确定目标探针的实际坐标偏移量；根据预设坐标偏移量和实际坐标偏移量之间的大小关系，得到目标探针的位置校验结果。本申请提供的探针位置校验方法能够提高探针校验的效率和准确率，通过校验提高探针的精度和稳定性。

技术领域

本申请涉及自动化测试设备技术领域，尤其涉及一种探针位置校验方法、系统、电子设备及存储介质。

背景技术

相关技术在对探针进行位置校验的过程中，往往在探针扎针后，需要通过视觉观察校准板来计算出探针位置，校验的效率和准确率低，又或者采用接触性测试判断探针位置之类的探针位置校准方式，也面临校验效率低等问题，因此均无法提高探针的精度和稳定性。

发明内容

本申请实施例的主要目的在于提出一种探针位置校验方法、系统、电子设备及存储介质，能够提高探针校验的效率和准确率，通过校验提高探针的精度和稳定性。

为实现上述目的，本申请实施例的第一方面提出了一种探针位置校验方法，所述方法包括：

在校准板上确定第一初始视野中心；获取目标探针的预设坐标偏移量，根据所述预设坐标偏移量和所述第一初始视野中心确定所述目标探针的扎针位置坐标；移动所述目标探针至所述校准板上的所述扎针位置坐标处进行扎针，并基于所述第一初始视野中心获取所述校准板扎针后的扎针图像；从所述扎针图像中确定所述目标探针扎针后的痕迹坐标，根据所述痕迹坐标和所述第一初始视野中心确定所述目标探针的实际坐标偏移量；根据所述预设坐标偏移量和所述实际坐标偏移量之间的大小关系，得到所述目标探针的位置校验结果。

根据本申请的一些实施例，所述在校准板上确定第一初始视野中心，包括：在校准板的上表面粘贴薄片，并获取粘贴后所述校准板上的初始视野图像；在所述初始视野图像中确定视野平整区域，并在所述视野平整区域中确定图像采集的校准位；在所述校准位上，确定视野的中心位置为第一初始视野中心。其中，所述薄片用于在所述目标探针扎进所述校准板后形成扎痕。

根据本申请的一些实施例，所述预设坐标偏移量通过以下步骤得到：在所述校准板上确定第二初始视野中心；为所述目标探针选取任意的偏移位置，根据所述偏移位置和所述第二初始视野中心得到所述目标探针的预设坐标偏移量。

根据本申请的一些实施例，所述目标探针有多个；所述为所述目标探针选取任意的偏移位置，根据所述偏移位置和所述第二初始视野中心得到所述目标探针的预设坐标偏移量，包括：按照等分的位置关系，为各个所述目标探针选取对应的偏移位置；根据各个所述偏移位置和所述第二初始视野中心得到对应的所述目标探针的预设坐标偏移量；所述根据所述预设坐标偏移量和所述实际坐标偏移量之间的大小关系，得到所述目标探针的位置校验结果，包括：根据各个所述预设坐标偏移量和对应的所述实际坐标偏移量之间的大小关系，得到各个所述目标探针的子位置校验结果；根据各个所述子位置校验结果得到整体的位置校验结果。

根据本申请的一些实施例，所述方法还包括：基于所述第一初始视野中心获取预设扎针坐标；根据所述预设扎针坐标和所述位置校验结果，计算参考扎针坐标；移动所述目标探针至所述校准板上的所述预设扎针坐标处进行扎针，基于所述第一初始视野中心获取所述校准板扎针后的实际扎针图像；将所述参考扎针坐标与所述实际扎针图像进行比对，得到所述目标探针位置关系的检查结果。

根据本申请的一些实施例，所述基于所述第一初始视野中心获取预设扎针坐标，包括：基于所述第一初始视野中心等距规划纵向预设扎针坐标；基于所述第一初始视野中心等距规划横向预设扎针坐标；根据所述纵向预设扎针坐标和所述横向预设扎针坐标，得到预设扎针坐标。