[发明专利]自动下料的双面平面抛光机

说明书

本申请涉及一种自动下料的双面平面抛光机，其涉及抛光机领域，其包括支撑筒、下磨盘、行星轮以及驱动电机，下磨盘设置在支撑筒的端部，下磨盘边缘设有与行星轮啮合的齿条，驱动电机的输出轴同轴设有转动筒，转动筒上同轴设有齿轮一，齿轮一与行星轮啮合，转动筒内转动设有运输筒，支撑筒内设有用于带动运输筒转动的转动电机，行星轮围绕运输筒轴线的角速度与运输筒的角速度相同，运输筒内转动设有吸附并移动载玻片的抓取组件，运输筒上设有抓取孔，运输筒上设有用于定位载玻片并控制转动电机与驱动电机通断电的激光传感器，运输筒内设有用于承接并运输载玻片的下料输送组件。本申请具有提高载玻片下料便利性的效果。

技术领域

本申请涉及抛光机领域，尤其是涉及一种自动下料的双面平面抛光机。

背景技术

双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备，双面抛光机的加工精度影响着加工材料的性能。

传统的双面抛光机常采用上下两个磨盘，中间是用于承载载玻片的行星轮系，上磨盘一般是通过液压缸驱动，液压缸驱动上磨盘下压到载玻片上并对抛光材料进行抛光，当载玻片抛光结束后，由于载玻片较薄，因此操作人员不易将载玻片从行星轮系中取下，不便于载玻片的下料。

发明内容

为了改善载玻片下料困难的问题，本申请提供一种自动下料的双面平面抛光机。

本申请提供的一种自动下料的双面平面抛光机采用如下的技术方案：

一种自动下料的双面平面抛光机，包括支撑筒、下磨盘、用于放置载玻片的行星轮以及用于驱动行星轮转动的驱动电机，所述下磨盘设置在所述支撑筒的端部，所述下磨盘边缘设有与行星轮啮合的齿条，所述驱动电机的输出轴同轴设有转动筒，所述转动筒穿过所述下磨盘并与所述下磨盘转动设置，所述转动筒在穿过所述下磨盘的一端同轴设有齿轮一，所述齿轮一与所述行星轮啮合，所述转动筒内转动设有运输筒，所述支撑筒内设有用于带动所述运输筒转动的转动电机，所述行星轮围绕所述运输筒轴线的角速度与所述运输筒的角速度相同，所述运输筒内转动设有吸附并移动载玻片的抓取组件，所述运输筒上设有抓取孔，所述运输筒上设有用于定位所述载玻片并控制所述转动电机与所述驱动电机通断电的激光传感器，所述运输筒内设有用于承接并运输所述载玻片的下料输送组件。

通过采用上述技术方案，当载玻片抛光结束后，通过驱动电机带动行星轮在下磨盘上转动的同时，行星轮自转，转动电机带动运输筒随着行星轮一起转动，当行星轮上的载玻片移动至抓取孔位置时，激光传感器控制转动电机与驱动电机断电，行星轮停止转动，抓取组件伸出抓取孔对载玻片抓取，然后抓取组件收缩进运输筒内并放置在下料输送组件上，然后通过下料输送组件将载玻片运出运输筒，从而实现将载玻片从行星轮上取下，提高载玻片下料的便利性。

在一个具体的可实施方案中，所述抓取组件包括液压缸、抓取杆以及吸附件，所述抓取杆转动设置在所述运输筒内，所述液压缸的缸体与所述运输筒转动设置，所述液压缸的活塞杆端与所述抓取杆转动设置，所述抓取杆的一端弯折形成抓取头，所述吸附件位于所述抓取头上，所述液压缸驱动所述抓取杆使得所述吸附件转动到所述载玻片上。

通过采用上述技术方案，在对载玻片进行抓取时，液压缸伸长，液压缸推动抓取杆转动，使得抓取杆从抓取孔内伸出，随着抓取杆的不断伸出，最终使得抓取头的吸附件置于载玻片上，然后吸附件对载玻片进行吸附，然后液压缸收缩，并通过抓取杆收缩进运输筒内，从而实现将载玻片从行星轮上取下。

在一个具体的可实施方案中，所述吸附件包括吸盘、真空发生器、软管，所述吸盘位于所述抓取头上，所述真空发生器位于所述运输筒上，所述真空发生器通过所述软管与所述吸盘连通设置。

通过采用上述技术方案，在对载玻片进行吸附时，吸盘随着抓取头落到载玻片上，然后驱动真空发生器，真空发生器通过软管带动吸盘处于负压，从而使得吸盘将载玻片吸附。