[发明专利]一种半导体晶片上蜡机有效

专利信息
申请号: 202310262646.6 申请日: 2023-03-17
公开(公告)号: CN116351644B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 赵云 申请(专利权)人: 江苏晶工半导体设备有限公司
主分类号: B05C5/00 分类号: B05C5/00;B05C13/02;B05C11/10;B05C9/12;H01L21/67
代理公司: 北京中知音诺知识产权代理事务所(普通合伙) 13138 代理人: 杨月雯
地址: 226200 江苏省南通市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 晶片 上蜡
【权利要求书】:

1.一种半导体晶片上蜡机,其特征在于,包括:

操作主体(1),所述操作主体(1)包括粘接平台(11),所述粘接平台(11)内部连接有粘蜡组件(12),所述粘接平台(11)顶部固定连接有卡块(13),所述卡块(13)内侧卡合连接有与粘蜡组件(12)外侧紧密贴合的密封板(14);

加压部(2),所述加压部(2)包括加压台(21),所述加压台(21)外侧与粘接平台(11)外侧固定连接,所述加压台(21)顶部固定连接有加压缸(22),所述加压缸(22)底部固定连接有加压板(23);

其中,所述粘蜡组件(12)包括恒温箱(121),所述恒温箱(121)底部与粘接平台(11)顶部固定连接,所述恒温箱(121)顶部通过支块固定连接有强力弯板(122),所述强力弯板(122)顶部固定连接有注蜡箱(123),所述注蜡箱(123)底部固定连通有伸缩密封管(124),所述伸缩密封管(124)底端贯穿恒温箱(121)并延伸至内部,所述注蜡箱(123)外侧密封卡合安装有承载盘(125),所述承载盘(125)底部设置有隔热升降杆(126),所述隔热升降杆(126)位于恒温箱(121)内。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述密封板(14)包括支板(141)和密封环囊(142),所述支板(141)内部通过螺纹杆与粘接平台(11)顶部螺纹连接,所述支板(141)外侧与卡块(13)内侧卡合连接,所述密封环囊(142)位于承载盘(125)正上方。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述注蜡箱(123)采用环形空心设计,所述注蜡箱(123)顶部固定连接有限位边(1231),所述限位边(1231)外侧与密封环囊(142)外侧紧密贴合,所述注蜡箱(123)顶部设置有内凹面(1232)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述注蜡箱(123)内壁固定连接有分隔板(1233),所述分隔板(1233)设置有四个,且所述分隔板(1233)等间距分布设置在注蜡箱(123)内,所述分隔板(1233)和注蜡箱(123)之间分别围成进料腔(1234)和吸料腔(1235),所述进料腔(1234)和吸料腔(1235)之间交错设置。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述进料腔(1234)底部通过伸缩密封管(124)固定连通有进料泵机组(127),所述进料泵机组(127)底部与粘接平台(11)内壁底部固定连接,所述吸料腔(1235)底部通过伸缩密封管(124)固定连通有吸料泵机组(128),所述吸料泵机组(128)底部与进料泵机组(127)顶部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述注蜡箱(123)通过开设在其内部的回流孔(1236)与吸料腔(1235)内相连通,所述注蜡箱(123)通过滑动连通在其内部的通孔板(1237)与进料腔(1234)内相连通,所述通孔板(1237)通过设置在其外侧的弹性板(1238)与内凹面(1232)外侧相连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述承载盘(125)顶部开设有涂覆槽(1251),所述承载盘(125)的水平面低于注蜡箱(123)的水平面。

8.根据权利要求1所述的一种半导体晶片上蜡机,其特征在于:所述承载盘(125)底部设置有第一磁力板(1252),所述隔热升降杆(126)顶部设置有第二磁力板(1261),所述第一磁力板(1252)和第二磁力板(1261)之间磁力连接。

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