[发明专利]一种准零刚度三自由度主动防微振平台

权利要求书

1.一种准零刚度三自由度主动防微振平台，包括底部气浮装置、波纹管、竖向压电驱动装置、支撑板和底座，其特征在于，所述底部气浮装置安装在底座顶部一侧，所述底部气浮装置包括矩形腔壁，所述矩形腔壁内部为第一气室，所述矩形腔壁一侧开始有进气管A，所述矩形腔壁顶部开设有气孔A，所述底部气浮装置顶部连接波纹管，所述波纹管内部为第二气室，所述波纹管顶部连接有主气浮装置，所述主气浮装置包括底板和圆筒形腔壁，所述圆筒形腔壁安装在底板顶部边缘，所述底板一侧开设有进气管B，所述进气管B上开设有三个均距的气孔B，所述圆筒形腔壁内部开设有环形气腔，所述圆筒形腔壁左右两侧分别开设有与环形气腔联通的进气管C，所述圆筒形腔壁内侧上下部开设有与环形气腔连接的气孔C，所述圆筒形腔壁一侧下部开设有泄气孔，所述主气浮装置内部安装有活塞，所述活塞包括圆筒形滑动壁，所述圆筒形滑动壁内部中间靠上位置安装有横板，所述圆筒形滑动壁外侧前、后、左、右顶部位置分别安装有横向推杆，所述圆筒形滑动壁、横板、底板和圆筒形腔壁之间组成主气室，所述圆筒形腔壁与圆筒形滑动壁之间形成径向气膜，所述横向推杆连接有横向气浮装置，所述横向气浮装置包括横向放置的U型腔壁，所述U型腔壁的腔口处安装有活塞筒，所述活塞筒通过膜与U型腔壁连接，所述U型腔壁、膜、活塞筒之间组成横向气室，所述U型腔壁的腔底开设有进气管D，所述U型腔壁的顶部安装有顶板，所述横板的顶部中间垂直连接有穿过顶板的支撑杆，所述支撑杆顶部连接有支撑板，所述顶板与横板之间安装有负刚度装置，所述负刚度装置包括永磁体和电磁体，所述永磁体安装在顶板底部中间、支撑杆两侧，所述电磁体安装在横板顶部中间、支撑杆两侧，所述底座顶部、底部气浮装置的左方和后方分别安装有竖向压电驱动装置，所述竖向压电驱动装置包括堆叠式压电陶瓷和外壳，所述堆叠式压电陶瓷安装在外壳内部中间，所述叠式压电陶瓷底部安装有调整装置，所述外壳顶部垂直滑动连接有穿过外壳的竖向推杆，所述外壳顶部内侧与堆叠式压电陶瓷之间、竖向推杆外侧套装有预压弹簧，所述竖向推杆顶部通过球铰A与支撑板连接，所述外壳顶部靠近顶板一侧安装有支撑块，所述支撑块与顶板之间通过球铰B连接有横向压电驱动装置，所述外壳顶部还安装有位置传感器，所述支撑板底部还安装有速度传感器，所述底座顶部还安装有控制器，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、电磁体、竖向压电驱动装置、横向压电驱动装置连接。

2.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述活塞筒与横向推杆连接。

3.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述进气管A上安装有气动阀A，所述进气管B上安装有气动阀B，所述进气管C上安装有气动阀C，所述进气管D上安装有气动阀D。

4.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述外壳下部一侧开设有竖向的矩形开孔。

5.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述调整装置包括菱形连杆，所述菱形连杆顶部和底部分别通过销钉安装有上支撑板和下支撑板，所述菱形连杆左右端均通过销钉连接，所述菱形连杆的左右连接处分别安装有螺栓和固定块，所述螺栓上连接有穿过外壳的矩形开孔的丝杆，所述丝杆顶端与固定块通过万向较连接。

6.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述堆叠式压电陶瓷与调整装置之间还安装有垫板。

7.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述支撑杆与支撑板之间还安装垫块A，球铰A与支撑板之间还安装有垫块B，所述球铰B与顶板之间安装有垫块C。

8.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述横向气浮装置的U型腔壁与圆筒形腔壁之间连接有支撑架。

9.根据权利要求1所述的一种准零刚度三自由度主动防微振平台，其特征在于，所述横向压电驱动装置与竖向压电驱动装置结构相同。