[发明专利]一种准零刚度三自由度主动防微振平台

说明书

本发明提供一种准零刚度三自由度主动防微振平台，包括底部气浮装置、波纹管、竖向压电驱动装置、支撑板和底座，所述底部气浮装置安装在底座顶部一侧，所述底部气浮装置顶部连接波纹管，所述波纹管顶部连接有主气浮装置，所述主气浮装置内部安装有活塞，所述底座顶部、底部气浮装置的左方和后方分别安装有竖向压电驱动装置，所述支撑块与顶板之间通过球铰B连接有横向压电驱动装置。本发明竖向和水平向主要通过气浮实现高频减振，通过压电驱动实现低频减振，隔振带宽，可以实现0.1Hz~200 Hz的振动控制，且定位精度高，承载力大，可满足1500kg精密仪器的承重要求，同时具备承载力和刚度的调整能力，可以适应于不同型号的精密仪器，适用范围广，通用性强。

技术领域

本发明涉及隔振装置技术领域，具体是一种准零刚度三自由度主动防微振平台。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。

由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。超精密测量仪器和超精密加工制造装备产生干扰的振动频率主要在0. 8～100Hz内的低频振动。被动隔振器从原理上依靠降低其固有频率，滤掉来自外界的振动，隔振效果取决于其固有频率的大小。但是固有频率与隔振器刚度算术平方根成正比，即固有频率越小刚度越小。难以突破在不影响承载的同时实现低刚度的桎梏。主动控制的隔振系统对于解决超低频微幅隔振非常有效，同时选择合适的结构和控制策略可实现对负载带来的扰动进行抑制。但主动隔振器存在结构复杂，隔振带窄，适用范围小，通用性差等问题。

精密仪器所处的环境是复杂的，不仅仅是单一的低频振动或高频振动，往往是低频振动和高频振动同时存在，而传统的隔振装置很难满足这种复杂环境振动的隔振要求。对于复杂振动环境的隔振能力较弱，尤其很难满足大型精密仪器的载重要求，系统定位精度不理想。

发明内容

本发明的目的在于提供一种准零刚度三自由度主动防微振平台，以解决上述背景技术中存在的问题。