[发明专利]一种多晶硅精馏系统及精馏方法

权利要求书

1.一种多晶硅精馏系统，其特征在于，包括：

混合氯硅烷来料入口(1)、不凝气及轻杂物料出口(2)、二氯二氢硅物料采出器(3)、侧采三氯氢硅采出器(4)、侧采四氯化硅采出器(5)、固渣及重杂采出器(6)、还原回收隔板精馏塔(7)以及回流罐(12)，其中，

所述混合氯硅烷来料入口(1)与所述还原回收隔板精馏塔(7)一侧的中部连接，用于使得混合氯硅烷来料通过所述混合氯硅烷来料入口(1)送入所述还原回收隔板精馏塔；

所述不凝气及轻杂物料出口(2)与所述还原回收隔板精馏塔(7)的塔顶连接并且与所述回流罐(12)连接，用于浓缩的不凝气及轻杂物料通过所述回流罐(12)排进废气系统进行淋洗处理；

所述二氯二氢硅物料采出器(3)与所述还原回收隔板精馏塔(7)的塔顶连接并且与所述回流罐(12)连接，用于将所述混合氯硅烷来料中的二氯二氢硅采出，并通过所述回流罐(12)排进废气系统进行淋洗处理；

所述侧采三氯氢硅采出器(4)与所述还原回收隔板精馏塔(7)的塔中上段连接，用于将所述混合氯硅烷来料中的三氯氢硅采出进入罐区以精制三氯氢硅，并将精制后的三氯氢硅送入储罐缓冲后送至还原炉反应；

所述侧采四氯化硅采出器(5)与所述还原回收隔板精馏塔(7)的塔釜连接，用于将所述混合氯硅烷来料中的四氯化硅采出进入罐区以精制四氯化硅，并将精制后的四氯化硅送入储罐缓冲后送至冷氢化反应器反应；

所述固渣及重杂采出器(6)与所述还原回收隔板精馏塔(7)的塔底连接，用于将所述混合氯硅烷来料中的氯硅烷高聚物及微量硅粉通过塔底的所述固渣及重杂采出器(6)排出多晶硅精馏系统外进行处理；

所述混合氯硅烷来料通过还原尾气自尾气回收车间冷凝分离出氢气后形成的含有微量氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅及硅粉和少量氯硅烷高聚物获取。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅精馏系统，其特征在于，所述侧采三氯氢硅采出器(4)通过塔中上段的第一侧采冷凝器(10)与所述还原回收隔板精馏塔(7)连接从而将所述混合氯硅烷来料中的三氯氢硅采出；

所述侧采四氯化硅采出器(5)通过塔釜的第二侧采冷凝器(11)与所述还原回收隔板精馏塔(7)连接从而将所述混合氯硅烷来料中的四氯化硅采出。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅精馏系统，其特征在于，所述多晶硅精馏系统还包括再沸器(8)，所述再沸器(8)设置在所述塔釜和塔底形成的回路内作为一个能够交换热量，同时有汽化空间的一种换热器，在再沸器(8)中的物料液位和所述还原回收隔板精馏塔(7)的液位在同一高度，从塔底提供液相进入到再沸器中，被汽化的两相流被送回到所述还原回收隔板精馏塔(7)中，返回所述还原回收隔板精馏塔(7)中的气相组分向上通过隔板，而液相组分掉回到塔底。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅精馏系统，其特征在于，所述多晶硅精馏系统还包括多个采出循环泵，分别与所述二氯二氢硅物料采出器(3)、侧采三氯氢硅采出器(4)、侧采四氯化硅采出器(5)、固渣及重杂采出器(6)连接，提供采出动力。