[发明专利]磁吸附组件以及蒸镀装置

说明书

本申请提供一种磁吸附组件以及蒸镀装置，磁吸附组件用于将掩膜板吸附于基板，磁吸附组件包括支撑件和多个磁体；多个磁体设于支撑件的一侧，多个磁体包括第一磁体和第二磁体，第一磁体的磁场强度小于第二磁体的磁场强度，多个磁体用于将掩膜板吸附于基板。本申请提供的磁吸附组件，多个磁体的磁场叠加后的磁场强度分布的较为均匀，有利于提高磁吸附组件对掩膜板的吸附力的均匀性，进而提高掩膜板与基板的吸附作用的均匀性，提高掩膜板与基板的贴合效果，有利于提高基板的蒸镀效果。

技术领域

本申请涉及显示面板制造技术领域，特别是涉及一种磁吸附组件以及蒸镀装置。

背景技术

在制作显示面板过程中，可利用蒸镀方式，通过掩膜板在基板上形成所需的图案。其中，掩膜板与基板需要进行对位。现阶段，使用磁体吸引固定掩膜板，使掩膜板与待蒸镀基板对位。具体地，可在基板一侧设置多个磁体，在待蒸镀基板的另一侧放置掩膜板。

然而，相关技术中，在通过掩膜板对待蒸镀基板进行蒸镀的过程中，基板与待蒸镀基板存在贴附不良的问题，从而在蒸镀的过程中，掩膜板无法与待蒸镀基板紧密贴合，易造成混色等蒸镀不良。

发明内容

本申请提供一种磁吸附组件以及蒸镀装置，以改善掩膜板与基板贴附不良的问题。

第一方面，根据本申请实施例提供的磁吸附组件用于将掩膜板吸附于基板，磁吸附组件包括支撑件和多个磁体；多个磁体设于支撑件的一侧，多个磁体包括第一磁体和第二磁体，第一磁体的磁场强度小于第二磁体的磁场强度，多个磁体用于将掩膜板吸附于基板。

在一些实施例中，磁体具有朝向支撑件的第一凸起，支撑件具有第一凹槽，第一凸起与第一凹槽相配合。

在一些实施例中，第一凸起具有第一镂空区。

在一些实施例中，沿多个磁体的排布方向，第一磁体的第一凸起的尺寸小于的第二磁体的凸起的尺寸。

在一些实施例中，磁体具有第二凸起和凹部，第二凸起位于磁体沿多个磁体排布方向的两侧，凹部位于两个第二凸起之间，支撑件具有凸台，凸台与凹部相配合。

在一些实施例中，沿多个磁体的排布方向，第一磁体的凹部的尺寸小于的第二磁体的凹部的尺寸。

在一些实施例中，第二凸起具有第二镂空区。

在一些实施例中，磁体包括本体部和填充部，本体部的材料和填充部的材料的磁性相异，填充部填充于第二镂空区。

在一些实施例中，第一磁体沿支撑件的厚度方向的尺寸小于第二磁体沿支撑件的厚度方向的尺寸。

在一些实施例中，多个磁体沿第一方向延伸，并沿第二方向排布，第一方向和第二方向相交。

在一些实施例中，沿第二方向，相邻两个磁体相互贴合。

在一些实施例中，相邻两个磁体中的一者的南极朝向掩膜板设置，北极朝向支撑件设置，另一者的南极朝向支撑件设置，北极朝向掩膜板设置。

在一些实施例中，第一磁体沿第二方向的尺寸小于第二磁体沿第二方向的尺寸。

在一些实施例中，多个第一磁体位于多个第二磁体沿第二方向的两侧。

在一些实施例中，多个第二磁体沿第二方向的任一侧的第一磁体的数量n满足：8≤n≤12。

在一些实施例中，支撑件具有中心面，中心面平行于第一方向，并位于支撑件沿第二方向的中间，沿第二方向，由中心面到支撑件的边缘的方向，第一磁体的磁场强度具有下降的趋势。

在一些实施例中，沿第二方向由中心面到支撑件的边缘的方向，第一磁体沿第二方向的尺寸具有下降的趋势。