[发明专利]通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法

说明书

本发明公开一种通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法，其包括通过分光光度计测出未镀膜基底的未镀膜反射曲线和镀膜材料的单层镀膜反射曲线；获取未镀膜基底的反射率，其中未镀膜基底的反射率为由单层镀膜反射曲线的极值点对应的未镀膜反射曲线于相应波长下的反射率；计算未镀膜基底的折射率；获取镀膜材料的反射率，其中镀膜材料的反射率为单层镀膜反射曲线的极值点于相应波长下的反射率；计算镀膜材料的最值反射率系数，其中镀膜材料的最值反射率系数为单层镀膜反射曲线达到极值点时的最值反射率系数；计算镀膜材料的折射率。本发明实现获得对单层镀膜材料的精确折射率的计算过程和公式，该方法对于光学介质薄膜分析具有普适性。

技术领域

本发明涉及光学镀膜技术领域，具体涉及一种通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法。

背景技术

为了得到光学镀膜的分光要求，就需要先进行膜系设计，而膜系设计的第一步就是要把握光学镀膜材料的折射率，由于折射率的把握越精确，设计出来的膜系与镀膜结果才越接近，若要达到设计的膜系曲线与镀膜后的膜系曲线高度重合，就要把握更为精确的光学镀膜材料的折射率测算方法，因此，计算获得镀膜材料的折射率是至关重要的。然而，现有的测算方法主要依靠美国等国外进口软件，由于国外进口软件在权限控制等方面多有限制，导致企业无法自主升级折射率计算方法和系统，因此迫切需要研发一种具有高精度的折射率计算方法。

发明内容

为了克服上述技术问题，本发明公开了一种通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：

一种通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法，其包括以下步骤：

步骤1，通过分光光度计测出未镀膜基底的未镀膜反射曲线、以及镀膜材料的单层镀膜反射曲线；

步骤2，获取所述未镀膜基底的反射率R_0λ1，R_0λ2，……R_0λn，其中所述未镀膜基底的反射率为取所述单层镀膜反射曲线的极值点对应的所述未镀膜反射曲线于相应波长下的反射率；

步骤3，计算所述未镀膜基底的折射率Ns_λ1，Ns_λ2，……Ns_λn；

步骤4，获取所述镀膜材料的反射率E_λ1，E_λ2，……E_λn，其中所述镀膜材料的反射率为所述单层镀膜反射曲线的极值点于相应波长下的反射率；

步骤5，计算所述镀膜材料的最值反射率系数R_Eλ1，R_Eλ2，……R_Eλn，其中所述镀膜材料的最值反射率系数为所述单层镀膜反射曲线达到极值点时的最值反射率系数；

步骤6，计算所述镀膜材料的折射率N_fλ1，N_fλ2，……N_fλn。

上述的通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法，其中在所述步骤3中，所述未镀膜基底的折射率的计算公式为：

……

其中，所述R_0λ1，R_0λ2，……R_0λn为所述未镀膜基底的反射率。

上述的通过分光光度计测出反射率计算镀膜材料折射率的方法，其中在所述步骤5中，所述镀膜材料的最值反射率系数的计算公式为：

R_Eλ1＝E_λ1×0.01