[发明专利]镀膜方法和设备

权利要求书

1.一种镀膜方法，应用于镀膜设备，其特征在于，

所述镀膜设备包括进出料腔和至少两个主工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔之间能够连通或阻断；所述主工艺腔内设置有安装架，所述安装架能够供N个货笼安装，其中，N为大于或等于2的正整数，未进行镀膜的所述主工艺腔为第一主工艺腔，已完成镀膜的所述主工艺腔为第二主工艺腔；用于安装在所述第一主工艺腔内所述安装架上的货笼为第一货笼，用于安装在所述第二主工艺腔内所述安装架上的货笼为第二货笼；

在所述进出料腔和所述主工艺腔阻断的情况下，所述方法包括如下步骤：

S100，所述进出料腔放气开门，放入第一货笼；

S110，所述进出料腔关门抽真空；

S120，连通所述进出料腔和所述第一主工艺腔；

S130，将所述进出料腔内的一个第一货笼转移至所述第一主工艺腔内的所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述第一主工艺腔；

S140，重复S100-S130，直至所述第一主工艺腔内的所述安装架上放满N个第一货笼后进行镀膜；

S200，连通所述进出料腔和所述第二主工艺腔；

S210，将所述第二主工艺腔内所述安装架上的一个第二货笼转移至所述进出料腔；

S220，阻断所述进出料腔和所述第二主工艺腔；

S230，所述进出料腔放气开门，取出第二货笼；

S240，所述进出料腔关门抽真空；

S250，重复S200-S240，直至将所述第二主工艺腔内所述安装架上的全部第二货笼取出。

2.根据权利要求1所述的镀膜方法，其特征在于，

所述镀膜设备还包括位于所述进出料腔和所述主工艺腔之间的副工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔均与所述副工艺腔能够阻断或连通；

在执行步骤S100之前，使所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔阻断，且所述第一主工艺腔和所述副工艺腔连通；

步骤S120中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔；

步骤S130中，先将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔；然后将第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述副工艺腔；

步骤S200中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔；

步骤S210中，先将所述第二主工艺腔内所述安装架上的第二货笼转移至所述副工艺腔；然后将第二货笼转移至所述进出料腔，并将所述第二主工艺腔内所述安装架上的下一个第二货笼转移至所述副工艺腔；

步骤S220中，阻断所述进出料腔和所述副工艺腔。

3.根据权利要求2所述的镀膜方法，其特征在于，

所述副工艺腔能够进行镀膜；

其中，

步骤S130中，在将所述进出料腔内的第一货笼转移至所述副工艺腔后，先将所述进出料腔和所述第一主工艺腔均与所述副工艺腔阻断以进行镀膜，镀膜完成后再连通所述第一主工艺腔和所述副工艺腔，并将所述副工艺腔内的第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上；

和/或，

步骤S210中，在将所述第二主工艺腔内的第二货笼转移至所述副工艺腔后，先将所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔阻断以进行镀膜，镀膜完成后再使所述进出料腔和所述第二主工艺腔均与所述副工艺腔连通，以将所述副工艺腔内的第二货笼转移至所述进出料腔，并将所述第二主工艺腔内所述安装架上的下一个第二货笼转移至所述副工艺腔。

4.根据权利要求2或3所述的镀膜方法，其特征在于，

所述镀膜设备还包括三向移载腔以及设置于所述三向移载腔内的三向移载装置，所述三向移载腔位于所述副工艺腔和所述主工艺腔之间；

在执行步骤S100之前，使所述第一主工艺腔和所述副工艺腔均与所述三向移载腔连通，所述第二主工艺腔与所述三向移载腔阻断；

步骤S130中，控制所述三向移载装置将所述副工艺腔内的第一货笼转移至所述第一主工艺腔内所述安装架上；

步骤S200中，连通所述进出料腔和所述副工艺腔，同时连通所述第二主工艺腔和所述三向移载腔；

步骤S210中，控制所述三向移载装置将所述第二主工艺腔内所述安装架上的第二货笼转移至所述副工艺腔。