[发明专利]镀膜方法和设备

说明书

本发明公开了一种镀膜设备和镀膜方法，通过设置能够连通或阻断的进出料腔和主工艺腔以及能够在进出料腔和主工艺腔之间转移的货笼，进行镀膜操作时，只需要在进出料腔和主工艺腔阻断的情况下单独对进出料腔开门放气即可实现单个货笼的放入或者取出，从而可以在其中一个主工艺腔进行镀膜的过程中，向另一个主工艺腔放入装载有待镀膜件的第一货笼或者是将装载有已镀膜件的第二货笼取出，以提高镀膜的连续性；此外，由于每次取放货笼仅仅对进出料腔进行抽真空或放气，正在镀膜的主工艺腔与进出料腔始终阻断，因此可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内，从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便，保证镀膜质量稳定性。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种镀膜方法和设备。

背景技术

表面处理技术对于被处理对象的表面进行各种改性改造，增强了被处理对象表面的耐磨性、耐腐蚀性、光滑度等属性，使被处理对象在使用过程中大大减少了损耗和浪费，起到了节能环保作用，从而让表面处理技术的应用日趋广泛，渗透到生活的方方面面。真空镀膜技术依靠其环保节能、安全可控的特性，市场覆盖率迅速扩大。

但目前应用的真空镀膜机都采用单个真空腔体，在腔体中设置溅射源、加热设备等镀膜组件，每次装料卸料都将腔门打开进行操作。操作过程必须经过：抽真空-溅射镀膜-恢复大气三个步骤，整个周期大部分时间用在抽气、前处理、冷却、上下工件这些过程，设备的利用率很低。这种操作过程每个循环真空炉体都将暴露大气，靶材与大气接触将会导致靶材的氧化，腔体会吸附大量的水蒸气及其它杂气，对第二次抽真空带来不便同时会降低镀膜质量和稳定性，对大批量和高要求生产带来不利。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镀膜方法和设备，提高镀膜的连续性，同时可以避免外界大气进入正在进行镀膜的主工艺腔内，从而防止镀膜件氧化以及对主工艺腔抽真空造成的不便，保证镀膜质量稳定性。

第一方面，本发明提供一种镀膜方法，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括进出料腔和至少两个主工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔之间能够连通或阻断；所述主工艺腔内设置有安装架，所述安装架能够供N个货笼放置，其中，N为大于或等于2的正整数，未进行镀膜的所述主工艺腔为第一主工艺腔，已完成镀膜的所述主工艺腔为第二主工艺腔；用于安装在所述第一主工艺腔内所述安装架上的货笼为第一货笼，用于安装在所述第二主工艺腔内所述安装架上的货笼为第二货笼；

在所述进出料腔和所述主工艺腔阻断的情况下，所述方法包括如下步骤：

S100，所述进出料腔放气开门，放入第一货笼；

S110，所述进出料腔关门抽真空；

S120，连通所述进出料腔和所述第一主工艺腔；

S130，将所述进出料腔内的一个第一货笼转移至所述第一主工艺腔内的所述安装架上，并阻断所述进出料腔和所述第一主工艺腔；

S140，重复S100-S130，直至所述第一主工艺腔内的所述安装架上放满N个第一货笼后进行镀膜；

S200，连通所述进出料腔和所述第二主工艺腔；

S210，将所述第二主工艺腔内所述安装架上的一个第二货笼转移至所述进出料腔；

S220，阻断所述进出料腔和所述第二主工艺腔；

S230，所述进出料腔放气开门，取出第二货笼；

S240，所述进出料腔关门抽真空；

S250，重复S200-S240，直至将所述第二主工艺腔内所述安装架上的全部第二货笼取出。

在可选的实施方式中，所述镀膜设备还包括位于所述进出料腔和所述主工艺腔之间的副工艺腔，所述进出料腔和所述主工艺腔均与所述副工艺腔能够阻断或连通；