[发明专利]一种行星盘固定盖板

权利要求书

1.一种行星盘固定盖板，其特征在于，所述行星盘固定盖板作用于行星盘上，所述行星盘设置有用于容置待蒸镀晶圆的容置槽；

所述行星盘固定盖板包括盖板本体及固定装置，所述盖板本体与所述行星盘适配；

所述固定装置包括固定件和弹性件，所述固定件设置在所述盖板本体的内侧，所述固定件为可拆卸结构，所述弹性件可通过所述固定件进行拆卸更换；

所述弹性件的一端与所述固定件连接，并通过作用于所述盖板本体的弹性作用力固定在所述盖板本体上，所述弹性件的另一端通过压缩形变产生的弹性作用力对所述待蒸镀晶圆进行抵持固定。

2.根据权利要求1所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述弹性件包括相互连接的内环弹簧和外环弹簧；

在垂直所述盖板本体内侧的方向上，所述内环弹簧沿远离所述盖板本体方向的绕制半径逐渐减小，所述外环弹簧沿远离所述盖板本体方向的绕制半径逐渐增大，所述内环弹簧位于所述外环弹簧内侧；

所述内环弹簧远离所述盖板本体的一端通过所述固定件固定在所述盖板本体的内侧，所述外环弹簧远离所述盖板本体的一端通过形变产生的弹性作用力对所述待蒸镀晶圆进行抵持固定。

3.根据权利要求2所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述外环弹簧与所述内环弹簧为一体结构，所述外环弹簧的中轴线与所述内环弹簧的中轴线重合。

4.根据权利要求2所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述外环弹簧末圈的外径小于所述容置槽的半径，所述外环弹簧末圈的外径大于所述待蒸镀晶圆的半径。

5.根据权利要求4所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述外环弹簧的末圈位置处设置有硅胶镀层。

6.根据权利要求2所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述固定件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件设置于所述内环弹簧远离所述盖板本体的一端，所述第二固定件设置于所述盖板本体内侧；

所述内环弹簧远离所述盖板本体的一端通过所述第一固定件与所述第二固定件的作用与所述盖板本体连接。

7.根据权利要求6所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述固定装置还包括设置在所述盖板本体内侧用于对所述弹性件进行限位的限位结构。

8.根据权利要求7所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述限位结构为相对于所述盖板本体内侧凸起的圆环形结构，所述限位结构的内径与所述内环弹簧靠近所述盖板本体一端的弹簧半径相同；

所述内环弹簧的中轴线与所述限位结构的中轴线重合。

9.根据权利要求7所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述固定装置的数量为多个，多个所述固定装置的分布位置与多个所述容置槽的位置对应。

10.根据权利要求7所述的行星盘固定盖板，其特征在于，所述行星盘固定盖板的材质为不锈钢。