[发明专利]一种晶体生长炉反射加热器在审
| 申请号： | 202310362088.0 | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116377598A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吴玉珍;刘家元;李明辉;姚吉勇 | 申请（专利权）人： | 徐州宏晶新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;F27D99/00 |
| 代理公司： | 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 | 代理人： | 隋祥雷 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市高新技术产业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 反射 加热器 | ||
1.一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：包括：
保温壳总成(100)，所述保温壳总成(100)包括保温套总成(110)，所述保温套总成(110)包括保温套(111)；
底盖总成(200)，所述底盖总成(200)包括底盖组件(210)，所述底盖组件(210)包括设置在所述保温套(111)底部开口处的底板(211)以及呈环形设置在所述底板(211)顶部并设置在所述保温套(111)内腔的红外加热器(220)；
顶盖总成(300)，所述顶盖总成(300)包括设置在所述保温套(111)顶部的顶盖(310)，所述顶盖(310)为弧形顶盖，所述顶盖(310)的内腔侧壁沿着所述顶盖(310)弧形轨迹设置有反光镜，所述反光镜与所述红外加热器(220)相对应。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：所述保温壳总成(100)还包括设置在所述保温套(111)内腔侧壁上的高频感应加热器(120)以及设置在所述保温套(111)圆周外侧壁上的抽吸管道(130)。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：所述保温套总成(110)还包括同轴心设置在所述保温套(111)圆周外侧壁底部的安装环(112)。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：所述底盖总成(200)还包括同轴心设置在所述底板(211)顶部并设置在所述红外加热器(220)内侧的坩埚(230)。
5.根据权利要求4所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：所述底盖组件(210)还包括同轴心设置在所述底板(211)顶部并设置在所述红外加热器(220)外侧的第一连接环(212)。
6.根据权利要求5所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：所述顶盖总成(300)还包括同轴心设置在所述顶盖(310)圆周外侧壁上并与所述保温套(111)圆周外侧壁接触的第二连接环(320)以及设置在所述顶盖(310)顶部的连接平台(330)。
7.根据权利要求6所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：还包括电机安装座总成(400)，所述电机安装座总成(400)包括电机安装座组件(410)以及设置在所述电机安装座组件(410)内腔的电机安装板(420)，所述电机安装座组件(410)包括设置在所述保温套(111)底部并与所述安装环(112)底部接触的电机安装座(411)以及开设在所述电机安装座(411)圆周外侧壁上并设置在所述电机安装板(420)下端的检修槽(412)。
8.根据权利要求7所述的一种晶体生长炉反射加热器，其特征在于：还包括驱动机构(500)，所述驱动机构(500)包括设置在所述电机安装板(420)底部的电机(510)以及设置在所述电机(510)输出轴上并设置在所述电机安装板(420)上端且与所述底板(211)底部相连接的转盘(520)。
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