[发明专利]一种含氟化合物的气流的处理装置

权利要求书

1.一种含氟化合物的气流的处理装置，包括主箱体（1），所述主箱体（1）顶部设置有废气进气管（10）和废气排气管（11），所述主箱体（1）内设置有等离子火炬（12）、反应室（13）、水槽（15）以及洗涤室（16），

其特征是：所述主箱体（1）外设置有蒸汽反应炉（14），所述蒸汽反应炉（14）包括穿过伸缩主箱体（1）的蒸汽管（140），所述主箱体（1）内设置有混合组件（2），所述蒸汽管（140）与所述废气进气管（10）连通到所述混合组件（2），所述水槽（15）上方连接有换热器（3），所述洗涤室（16）与所述废气排气管（11）和所述换热器（3）连接，所述水槽（15）内可转动设置有导流组件（5），

其中，所述导流组件（5）位于所述换热器（3）下方，且水槽（15）内填充有不淹没所述导流组件（5）的水。

2.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述混合组件（2）包括连接外壳（20），所述连接外壳（20）顶部设有第一管口（21），所述连接外壳（20）侧方设有第二管口（22），所述第一管口（21）连接所述废气进气管（10），所述第二管口（22）连接所述蒸汽管（140），所述连接外壳（20）内设有穿插底部的通气管（23），所述通气管（23）与所述等离子火炬（12）连接，所述通气管（23）连接有通气基体（24），所述通气基体（24）侧壁间隔开设通气口（25），所述通气基体（24）固定有支撑柱（26），所述支撑柱（26）转动连接有导流扇叶（27）。

3.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述换热器（3）包括同轴上下布设的第一基体（31）和第二基体（32），所述第一基体（31）与所述第二基体（32）侧壁均开设流通槽（33），所述第一基体（31）与所述第二基体（32）之间连接有主输送管（34），所述第一基体（31）侧方环绕连接有第一腔体（35），所述第二基体（32）侧方环绕连接有第二腔体（36），所述第一腔体（35）与所述第二腔体（36）之间连通设置有多个副输送管（37），所述副输送管（37）内设有螺旋状的冷凝管（38），所述第二基体（32）底部通过管道与所述水槽（15）连通。

4.根据权利要求3所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述主输送管（34）包括同轴布设且连通的第一管体（341）和第二管体（342），所述第一管体（341）的管内径大于所述第二管体（342）的管内径，所述第一管体（341）与所述第二基体（32）顶部连通，所述第二管体（342）上方末端穿过所述第一基体（31）底部，且所述第二管体（342）的顶端水平高度位于所述第一基体（31）内开设的所述流通槽（33）上方。

5.根据权利要求4所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述第一管体（341）内设置有降温组件（4），所述降温组件（4）包括环绕设置在所述第二管体（341）内的金属板（40），所述金属板（40）为薄板，任一所述金属板（40）上阵列开设有圆孔（41），相邻的所述金属板（40）之间连接有弹簧（42）。

6.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述导流组件（5）包括固定于所述水槽（15）内底面的底座（50），所述底座（50）内通过轴承可转动设置有接收管（52），所述接收管（52）底部封口且在侧方底部连通有多个弯管（53），所述接收管（52）侧壁连环绕固定有多个连接架（54），相隔的所述连接架（54）内侧固定有扰流板（55），任一所述扰流板（55）上阵列布设通水孔（56），所述接收管（52）顶部通过所述连接架固定有滤网（57）。

7.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述等离子火炬（12）与所述反应室（13）之间连接有导热管（6），所述蒸汽管（140）位于所述主箱体（1）内的管体部分缠绕在所述导热管（6）外侧，所述导热管（6）外侧包裹设置有隔温壳（60），所述隔温壳（60）上下封口且开设有能使所述蒸汽管（140）通过的孔体。

8.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述洗涤室（16）底部通过U型管道与所述废气排气管（11）之间连接有螺旋冷却管（7）。