[发明专利]一种含氟化合物的气流的处理装置

说明书

本发明公开了一种含氟化合物的气流的处理装置，该装置属于废气处理技术领域，包括主箱体，所述主箱体内设置有废气进气管和废气排气管，所述主箱体内顺序连接有等离子火炬、反应室、蒸汽反应炉以及洗涤室，所述蒸汽反应炉与所述废气进气管连通有混合组件，所述主箱体内底部设有对废气吸热的水槽，所述水槽上方连通有换热器，所述换热器包括内部设置的降温组件，所述水槽内设有对废气扰动的导流组件。本发明通过导流组件加速水对热气吸热效果，并通过对换热器的改进提高废气换热效率，有利于后续洗涤室处理气流，大大提高了含氟废气处理效果。

技术领域

本发明属于废气处理装置技术领域，具体涉及一种含氟化合物的气流的处理装置。

背景技术

PFC指的是全氟化合物，采用等离子消除法已经被证明是一种有效的使PFC成为较少危害的物质的方法，已知的等离子消除技术相对比较复杂，并具有较高的能量要求，该技术不仅要求加热水蒸气到至少150°C，而且要求排放气流接下来传输通过热交换器进行冷却，然后传输到湿式气体洗涤器，洗涤器的效率随着温度上升下降，现有的对加热后废气换热冷却的换热器换热效率差，且需要大功率气泵类装置对气流抽出，有较大的能源消耗。

美国发明专利，公开号US20060013745A1，公开了增强型PFC废气处理系统。该发明包括冷凝管，催化剂处理单元，水处理单元和集水箱；通过在前段冷凝冷凝管以处理由复合处理设备（热电型+水净化型）产生的水蒸气，反应后的物料进入催化剂处理装置，在催化剂处理装置中通入全氟化合物(PFC)气体，使其保持干燥，催化剂处理单元对含有全氟化合物(PFC)的气体进行解离，解离产生的副产物在进入水处理单元时被转化为对人体无害的气体。并具有降温功能；然后将气体排放到大气中，以降低半导体工业的污染对环境的危害，该发明在以下技术方案上存在改进空间，热气冷凝后形成水珠容易存留在螺旋状的冷凝管中，形成高湿度低压环境，不利于气流通过；底部集水箱内废水始终处于静止状态，随着低压环境的形成，水对废气的溶解度和吸热效果会降低，不利于后续洗涤室对气体的处理。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能高效对加热后废气气冷却吸热，提高废气处理效率，且降低装置整体能源消耗的一种含氟化合物的气流的处理装置。

本发明为实现上述目的所采取的技术方案为：

一种含氟化合物的气流的处理装置，包括主箱体，主箱体顶部设置有废气进气管和废气排气管，主箱体内设置有等离子火炬、反应室、水槽以及洗涤室，主箱体外设置有蒸汽反应炉，蒸汽反应炉包括穿过伸缩主箱体的蒸汽管，主箱体内设置有混合组件，蒸汽管与废气进气管连通到混合组件，水槽上方连接有换热器，洗涤室与废气排气管和换热器连接，水槽内可转动设置有导流组件，导流组件位于换热器下方，且水槽内填充有不淹没导流组件的水。含氟废气经过废气进气管进入混合组件，同时水蒸气经过蒸汽管进入混合组件与废气混合，通过等离子火炬进入反应室形成废气产物，水槽中的水溶解废弃产物中的部分氟化氢并去除固体分子，随后废气进入换热器中进行冷却，并输送到洗涤室进行处理剩余废弃产物，最终气体从废气排出管排出，导致组件对进入水槽的气体导流进入换热器，加速废气处理效率。