[发明专利]一种桁架机械手预静置固化库

权利要求书

1.一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，包括转运桁架(5)；转运桁架(5)下方一侧设置晶托/粘胶板输入辊道线(1)，另一侧设置晶棒输入辊道线(2)，晶托/粘胶板输入辊道线(1)相邻处设置固化物料输出辊道线(3)，转运桁架(5)下方设置若干个用于放置物料的静置定位料架(4)，转运桁架(5)上配设有晶托抓手(6)和晶棒抓手(7)。

2.如权利要求1所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，所述转运桁架(5)包括立柱(501)，立柱(501)顶部固定设置X轴横梁(502)，X轴横梁(502)上设有两个Z轴，Z轴通过导向组件与X轴滑动连接，其中一个Z轴底部设置晶托抓手(6)，另一个Z轴底部设置晶棒抓手(7)。

3.如权利要求2所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，两个Z轴分别为：Z轴A(503)和Z轴B(504)，Z轴A(503)通过Z轴连接座A(601)与晶托抓手(6)连接；Z轴B(504)通过Z轴连接座B(701)与晶棒抓手(7)连接。

4.如权利要求3所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，晶托抓手(6)包括抓手底板(604)，抓手底板(604)上表面设置旋转R轴A(602)，Z轴连接座A(601)下端连接旋转R轴A(602)，Z轴连接座A(601)内设置旋转伺服电机A(607)，旋转伺服电机A(607)输出端与旋转R轴A(602)连接；抓手底板(604)上顶面两端分别设置夹紧气缸(603)，抓手底板(604)的两侧设置抓手推板，每个夹紧气缸(603)通过浮动接头与抓手推板连接，每个抓手推板底部通过支架与物料抓手(606)连接，物料抓手(606)顶部分别通过导向件(605)与抓手底板(604)底面连接实现移动。

5.如权利要求4所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，所述导向件(605)包括直线导轨和滑块，直线导轨通过抓手导轨支座固定在抓手底板(604)底面上；滑块与物料抓手(606)连接。

6.如权利要求5所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，直线导轨相邻处设置缓冲挡停组件(608)。

7.如权利要求6所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，晶棒抓手(7)包括底板，底板上表面设置旋转R轴B(703)，Z轴连接座B(701)连接旋转R轴B(703)，Z轴连接座B(701)内设置旋转伺服电机B(704)，旋转伺服电机B(704)输出端与旋转R轴B(703)连接；底板底面中间处设置海绵吸盘(702)。

8.如权利要求7所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，每个静置定位料架(4)包括静置固定架(402)，静置固定架(402)上设置对中固化机构(401)。

9.如权利要求8所述的一种桁架机械手预静置固化库，其特征是，所述对中固化机构(401)包括底部安装板(40104)，底部安装板(40104)两侧从上之下均依次顺序设置晶棒对中压板(40101)、粘胶板连接板(40106)、晶托连接板(40110)，晶棒对中压板(40101)、粘胶板连接板(40106)、晶托连接板(40110)分别通过滑块和直线导轨(40103)与底部安装板(40104)滑动连接；底部安装板(40104)一侧底部分别对应晶棒对中压板(40101)、粘胶板连接板(40106)、晶托连接板(40110)设置晶托对中气缸(40112)、粘胶板对中气缸(40114)、晶棒对中气缸(40115)。