[发明专利]感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件在审
申请号: | 202310403043.3 | 申请日: | 2023-04-14 |
公开(公告)号: | CN116661243A | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 刘斌;向文胜;洪勇波;张兵;赵建龙;谢立洋;程晋广 | 申请(专利权)人: | 江苏艾森半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 覃蛟 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 聚酰亚胺 组合 固化 电子 部件 | ||
1.一种感光性聚酰亚胺组合物,其特征在于,含有下述成分(a)、(b)、(c)和(d):
(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物;其选自下述式1所示化合物
其中,R选自未取代烷基的一种,Ar1选自4价有机基团,Ar2选自2价有机基团,Ar3选自4价有机基团;k+m=5~200,m/k=0.01~0.5;
(b)光敏剂;
(c)热交联剂;成分(c)包含成分(C1)含有环氧基的交联剂和成分(C2)含有CH2OR的交联剂;
(d)硅烷偶联剂。
2.根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组合物,其特征在于,R选自C1-C10未取代烷基,优选为C1-C5未取代烷基,更优选为C1-C3未取代烷基,最优选为CH3、CH2CH3、CH(CH3)2的任意一种。
3.根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组合物,其特征在于,Ar1每次出现时相同或不同地选自式2-1至式2-9所示的4价有机基团中的任意一种:
其中,R1-R8均为一价有机基团,X为二价基团,
优选地,R1-R8各自独立地选自氢、卤素、C1-C5取代或未取代烷基中的任意一种;优选地,R1-R8各自独立地选自氢、氟原子、甲基和三氟甲基中的任意一种;
优选地,X选自氧原子、C1-C5取代或未取代亚烷基、硫原子、砜基和羰基中的任意一种;
优选地,X选自氧原子、亚甲基、硫原子、砜基、羰基、C(CH3)2和C(CF3)2中的任意一种;
优选地,Ar2每次出现时相同或不同地选自式3-1至式3-12所示的2价有机基团中的任意一种:
其中,R9-R20均为一价有机基团,Y为二价基团;
优选地,R9-R20各自独立地选自氢、卤素、C1-C5取代或未取代烷基中的任意一种;优选地,R9-R20各自独立地选自氢、氟原子、甲基和三氟甲基中的任意一种;
优选地,Y选自氧原子、C1-C5取代或未取代亚烷基、硫原子、砜基和羰基中的任意一种;
优选地,Y选自氧原子、亚甲基、硫原子、砜基、羰基、C(CH3)2和C(CF3)2中的任意一种;
优选地,Ar3每次出现时相同或不同地选自式4-1至4-6所示的4价有机基团中的任意一种:
其中,R21-R26均为一价有机基团,Q为二价基团;
优选地,R21-R26各自独立地选自氢、卤素、C1-C5取代或未取代烷基中的任意一种;优选地,R21-R26各自独立地选自氢、氟原子、甲基和三氟甲基中的任意一种;
优选地,Q选自氧原子、C1-C5取代或未取代亚烷基、硫原子、砜基和羰基中的任意一种;
优选地,Q选自氧原子、亚甲基、硫原子、砜基、羰基、C(CH3)2和C(CF3)2中的任意一种;
优选地,所述嵌段聚合物的重均分子量为3000-200000,优选为5000-100000。
4.根据权利要求1所述的感光性聚酰亚胺组合物,其特征在于,所述光敏剂为醌二叠氮化合物。
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