[发明专利]感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件

说明书

本发明涉及感光性介电材料技术领域，具体而言，涉及感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物；其选自下述结构式所示化合物其中，R选自未取代烷基的一种，Arsubgt;1/subgt;选自4价有机基团，Arsubgt;2/subgt;选自2价有机基团，Arsubgt;3/subgt;选自4价有机基团；k+m＝5～200，m/k＝0.01～0.5；(b)光敏剂；(c)热交联剂；成分(c)包含成分(C1)含有环氧基的交联剂和成分(C2)含有CHsubgt;2/subgt;OR的交联剂；(d)硅烷偶联剂。该感光性聚酰亚胺组合物具有优异的灵敏度、分辨率和能成复制精细的图案，且固化后翘曲应力低、具有高化学稳定性和粘结性。

技术领域

本发明涉及感光性介电材料技术领域，具体而言，涉及感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。

背景技术

感光性聚酰亚胺的显影一直采用N-甲基吡咯烷酮等有机溶剂。但是由于近些年来的环保意识并且考虑到废液的处理，认为采用碱性水溶液显影问题更少，但是这些感光性聚酰亚胺材料的溶解性很差，很难形成图案。而为了改善上述问题，可以采用能够用于碱性水溶液显影的正性感光聚酰亚胺材料，具体方法例如在聚酰亚胺前体中通过酯键导入2-硝基苄基的方法、在可溶性二羟基酰亚胺或聚苯并恶唑前体中混合重氮萘醌的方法等。但是上述正性感光聚酰亚胺组合物在高温固化后，翘曲应力高，且灵敏度低，因此，不能广泛使用。

鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的目的在于提供感光性聚酰亚胺组合物、固化物和电子部件。本发明实施例提供的感光性聚酰亚胺组合物具有优异的灵敏度、分辨率和能成复制精细的图案，且固化后翘曲应力低、具有高化学稳定性和粘结性。

本发明是这样实现的：

第一方面，本发明提供一种感光性聚酰亚胺组合物，含有下述成分(a)、(b)、(c)和(d)：

(a)可溶于碱性水溶液的嵌段聚合物；其选自下述式1所示化合物

其中，R选自未取代烷基的一种，Ar₁选自4价有机基团，Ar₂选自2价有机基团，Ar₃选自4价有机基团；k+m＝5～200，m/k＝0.01～0.5；

(b)光敏剂；

(c)热交联剂；成分(c)包含成分(C1)含有环氧基的交联剂和成分(C2)含有CH₂OR的交联剂；

(d)硅烷偶联剂。

第二方面，本发明提供一种图形的制造方法，其包含将前述实施方式中任一项所述的感光性聚酰亚胺组合物涂布在支撑基板上，并进行干燥、曝光、显影以及加热处理的工序；

优选地，所述曝光的工序中使用的光源为i射线。

第三方面，本发明提供一种固化物，所述固化物通过将前述实施方式中任一项所述的感光性聚酰亚胺组合物固化而形成；

优选地，所述固化物包括表面保护膜或层间绝缘膜。

第四方面，本发明提供一种电子部件，所述电子部件具有前述实施方式所述的固化物。

本发明具有以下有益效果：本发明实施例提供的感光性聚酰亚胺组合物曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液，而未曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液，因而能够有效地复制精细的图案。且该感光性聚酰亚胺组合物灵敏度优异，分辨率高，高温固化后具有低翘曲应力，高粘结性以及良好的化学耐受性。

附图说明