[发明专利]一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质

权利要求书

1.一种气体流量控制方法，其特征在于，包括：

获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，所述第一限流器为标准气体所在气路的限流器，所述第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，所述第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，所述第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值；

基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，所述第一预设关系式组包括所述第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，所述第二预设关系式组包括所述第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式；

基于所述第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于所述第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，所述第一压力值为所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力值为所述第二限流器输入端的压力值；

基于所述第一压力值控制第一压力控制器动作，基于所述第二压力值控制第二压力控制器动作，所述第一压力控制器用于调节所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力控制器用于调节所述第二限流器输入端的压力值。

2.根据权利要求1所述的一种气体流量控制方法，其特征在于，所述基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，包括：

基于所述第一内径值和第二内径值在预设关系式库中进行匹配，得到所述第一限流器对应的第一预设关系式组以及所述第二限流器对应的第二预设关系式组，所述预设关系式库中包括多个内径值以及多个内径值分别对应的预设关系式组。

3.根据权利要求1所述的一种气体流量控制方法，其特征在于，所述获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，之前还包括：

实时获取任一限流器输入端的测试压力值以及输出端的输出流量值；

基于所述测试压力值以及输出流量值绘制散点图；

对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式。

4.根据权利要求3所述的一种气体流量控制方法，其特征在于，所述关系式包括线性关系式和非线性关系式，所述对所述散点图进行回归分析，得到压力值与流量值对应的关系式，包括：

以每个散点为起点并确定至少一组目标散点，每组目标散点包括每个散点以及所述每个散点之后的预设数量散点；

对所述每组目标散点进行连线形成每组目标散点对应的折线图；

对所述每组目标散点对应的折线图进行回归分析得到每组目标散点对应的关系式。

5.一种气体流量控制装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，所述第一限流器为标准气体所在气路的限流器，所述第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，所述第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，所述第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值；

关系式确定模块，用于基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，所述第一预设关系式组包括所述第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，所述第二预设关系式组包括所述第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式；

压力值确定模块，用于基于所述第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于所述第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，所述第一压力值为所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力值为所述第二限流器输入端的压力值；

控制模块，用于基于所述第一压力值控制第一压力控制器动作，基于所述第二压力值控制第二压力控制器动作，所述第一压力控制器用于调节所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力控制器用于调节所述第二限流器输入端的压力值。