[发明专利]一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质

说明书

本申请涉及一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质，涉及流量控制的领域，该方法包括获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，基于第一内径值确定第一预设关系式组，基于第二内径值确定第二预设关系式组，基于第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，基于第一压力值控制第一压力控制器动作，基于第二压力值控制第二压力控制器动作。本申请能够使得限流器在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体。

技术领域

本申请涉及流量控制的领域，尤其是涉及一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术

在制备气体领域，工作人员需要制备某个浓度的气体，需要将该气体对应的高浓度标准气体与氮气等惰性气体混合稀释，氮气等惰性气体为稀释气体。在进行混合时，需要两种气体所在的气路按照指定流量进行输出，因此需要气路中设置限流器对气体流量进行限制。

限流器输出流量大小与限流器输入端的气体压力有关，并且对于不同内径的限流器，限流器输入端在不同的压力区间下，压力与输出端流量之间的对应关系不同，因此如何在不同的压力下均较为准确地输出所需流量大小的气体成为一个问题。

发明内容

为了使得限流器在不同压力下均能较为准确地输出所需流量大小的气体，本申请提供一种气体流量控制方法、装置、电子设备及存储介质。

第一方面，本申请提供一种气体流量控制方法，采用如下的技术方案：

一种气体流量控制方法，包括：

获取第一限流器的第一内径值、第二限流器的第二内径值、第一目标流量值以及第二目标流量值，所述第一限流器为标准气体所在气路的限流器，所述第二限流器为稀释气体所在气路的限流器，所述第一目标流量值为第一限流器输出端所需的流量值，所述第二目标流量值为第二限流器输端所需的流量值；

基于所述第一内径值确定第一预设关系式组，基于所述第二内径值确定第二预设关系式组，所述第一预设关系式组包括所述第一限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式，所述第二预设关系式组包括所述第二限流器对应的至少两个在不同流量区间中计算压力的关系式；

基于所述第一预设关系式组以及第一目标流量值确定第一压力值，基于所述第二预设关系式组以及第二目标流量值确定第二压力值，所述第一压力值为所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力值为所述第二限流器输入端的压力值；

基于所述第一压力值控制第一压力控制器动作，基于所述第二压力值控制第二压力控制器动作，所述第一压力控制器用于调节所述第一限流器输入端的压力值，所述第二压力控制器用于调节所述第二限流器输入端的压力值。