[发明专利]具有斜面的工件的加工方法在审
申请号: | 202310472308.5 | 申请日: | 2023-04-23 |
公开(公告)号: | CN116551471A | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 杨群;周志伟;肖宜;陈才伟;李秋霞;尹建刚 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B9/02;B24B41/06 |
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地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 斜面 工件 加工 方法 | ||
1.一种具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:包括步骤:
加工配磨治具的第一平面与第一斜面,并使所述第一平面与所述第一斜面之间形成具有第一预设倾斜角度的第一夹角;
粗加工出工件的第二平面与第二斜面;
将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角;
所述第二预设倾斜角度等于第一预设倾斜角度±预设角度误差值。
2.如权利要求1所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:所述步骤“将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角”,具体包括步骤:
将粗加工后的工件固定在配磨治具上,并使粗加工后的第二斜面抵于配磨治具的第一斜面上;
将所述配磨治具的第一平面固定在机床上,利用机床对所述工件的第二平面进行磨削精加工;
当第二平面磨削完成后,将工件与配磨治具松开,并翻转所述工件,使得磨削完成后的第二平面抵于配磨治具的第一斜面上,再将工件与配磨治具固定;
利用机床对所述工件的第二斜面进行磨削精加工,直到磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角。
3.如权利要求1所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:所述步骤“将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角”,具体包括步骤:
将粗加工后的工件固定在配磨治具上,并使粗加工后的第二平面抵于配磨治具的第一斜面上;
将所述配磨治具的第一平面固定在机床上,利用机床对所述工件的第二斜面进行磨削精加工;
当第二斜面磨削完成后,将工件与配磨治具松开,并翻转所述工件,使得磨削完成后的第二斜面抵于配磨治具的第一斜面上,再将工件与配磨治具固定;
利用机床对所述工件的第二平面进行磨削精加工,直到磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角。
4.如权利要求1所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:步骤“将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上”,具体包括:
通过螺钉穿过所述工件上的通孔并与所述配磨治具上的螺纹孔连接,以将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上。
5.如权利要求4所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:步骤“通过螺钉穿过所述工件上的通孔并与所述配磨治具上的螺纹孔连接,以将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上”之前,还包括:
利用机床在所述工件上加工出通孔,并在所述配磨治具上加工出螺纹孔。
6.如权利要求1所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:所述步骤“粗加工出工件的第二平面与第二斜面”,具体包括:
利用机床粗加工出工件的第二平面与第二斜面,并使所述第二平面与所述第二斜面的表面分别留有加工余量。
7.如权利要求6所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:步骤“利用机床粗加工出工件的第二平面与第二斜面,并使所述第二平面与所述第二斜面的表面分别留有加工余量”,具体包括:
将工件固定在机床的加工台上,利用机床粗加工出工件的第二平面,并使所述第二平面的表面留有加工余量;
以粗加工后的第二平面为定位基准,将第二平面固定在机床的加工台上,利用机床粗加工出工件的第二斜面,并使所述第二斜面的表面留有加工余量。
8.如权利要求6所述的具有斜面的工件的加工方法,其特征在于:所述加工余量的厚度为0.1-0.5mm。
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