[发明专利]具有斜面的工件的加工方法在审
申请号: | 202310472308.5 | 申请日: | 2023-04-23 |
公开(公告)号: | CN116551471A | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 杨群;周志伟;肖宜;陈才伟;李秋霞;尹建刚 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B9/02;B24B41/06 |
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地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 斜面 工件 加工 方法 | ||
本申请提供了一种具有斜面的工件的加工方法,包括步骤:加工配磨治具的第一平面与第一斜面,并使所述第一平面与所述第一斜面之间形成具有第一预设倾斜角度的第一夹角;粗加工出工件的第二平面与第二斜面;将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角;所述第二预设倾斜角度等于第一预设倾斜角度±预设角度误差值。本申请提供的具有斜面的工件的加工方法,可逐步提高工件的第二平面与第二斜面的平面加工精度,降低机床自身精度的影响。
技术领域
本申请属于斜面加工技术领域,更具体地说,是涉及一种具有斜面的工件的加工方法。
背景技术
在机床的加工过程中,针对工件的平面加工,通常由机床,例如精密磨床来完成最后一道工序,从而使得加工后的平面具有较高的平面度精度。
有时候还需要对工件的斜面进行加工,尤其是当两个工件之间需要通过斜面进行配合时,对斜面的加工精度要求尤其高。然而采用机床直接加工工件的斜面容易受机床自身精度等影响,从而导致加工精度较低。
发明内容
本申请提供一种具有斜面的工件的加工方法,提高了斜面的加工精度。
为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:提供一种具有斜面的工件的加工方法,包括步骤:
加工配磨治具的第一平面与第一斜面,并使所述第一平面与所述第一斜面之间形成具有第一预设倾斜角度的第一夹角;
粗加工出工件的第二平面与第二斜面;
将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角;
所述第二预设倾斜角度等于第一预设倾斜角度±预设角度误差值。
进一步地,所述步骤“将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角”,具体包括步骤:
将粗加工后的工件固定在配磨治具上,并使粗加工后的第二斜面抵于配磨治具的第一斜面上;
将所述配磨治具的第一平面固定在机床上,利用机床对所述工件的第二平面进行磨削精加工;
当第二平面磨削完成后,将工件与配磨治具松开,并翻转所述工件,使得磨削完成后的第二平面抵于配磨治具的第一斜面上,再将工件与配磨治具固定;
利用机床对所述工件的第二斜面进行磨削精加工,直到磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角。
进一步地,所述步骤“将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上,利用机床对所述工件的第二平面及第二斜面进行磨削精加工,并使磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角”,具体包括步骤:
将粗加工后的工件固定在配磨治具上,并使粗加工后的第二平面抵于配磨治具的第一斜面上;
将所述配磨治具的第一平面固定在机床上,利用机床对所述工件的第二斜面进行磨削精加工;
当第二斜面磨削完成后,将工件与配磨治具松开,并翻转所述工件,使得磨削完成后的第二斜面抵于配磨治具的第一斜面上,再将工件与配磨治具固定;
利用机床对所述工件的第二平面进行磨削精加工,直到磨削精加工后的第二平面与第二斜面之间形成具有第二预设倾斜角度的第二夹角。
进一步地,步骤“将粗加工后的工件固定在配磨治具的第一斜面上”,具体包括:
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