[发明专利]阵列基板、显示面板和显示装置

权利要求书

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：

衬底；

驱动电路层，形成于所述衬底上，包括层叠设置的第一导电层、多晶硅半导体层、第二导电层、氧化物半导体层和第三导电层，所述驱动电路层包括第一晶体管、第二晶体管和电容，所述第一晶体管包括第一有源层和第一栅极，所述第二晶体管包括第二有源层、第二栅极和第三栅极，所述电容包括第一极板和第二极板，其中，

所述第一有源层形成于所述多晶硅半导体层，所述第一栅极形成于所述第二导电层；

所述第一极板形成于所述第一导电层、所述第二导电层、所述氧化物半导体层和所述第三导电层中的一者，所述第二极板形成于所述第一导电层、所述第二导电层、所述氧化物半导体层和所述第三导电层中的另一者；

所述第二栅极形成于所述第一导电层，第三栅极形成于所述第三导电层，所述第二有源层形成于所述氧化物半导体层。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一导电层在所述第一有源层上的正投影覆盖所述第一有源层。

3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述电容还包括第三极板，所述第三极板形成于所述第一导电层、所述第二导电层、所述氧化物半导体层和所述第三导电层中的一者，且所述第三极板与所述第一极板、所述第二极板异层设置，所述第三极板位于所述第二极板背离所述第一极板的一侧，所述第三极板、所述第二极板在所述衬底上的正投影至少部分交叠。

4.根据权利要求1或2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一导电层、所述第二导电层的材质为透明导电材料，或者，所述第一导电层、所述第二导电层的材质为金属。

5.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述第一导电层、所述第二导电层的材质为透明导电材料，所述阵列基板还包括第一金属层，所述第一金属层与所述第一导电层接触，且所述第一金属层形成于所述第一导电层背离所述衬底的一侧，所述第一金属层与所述第一有源层相对设置，且所述第一金属层、所述第一栅极在所述衬底上的正投影至少部分交叠；和/或，

所述第一导电层、所述第二导电层的材质为透明导电材料，所述阵列基板还包括第二金属层，所述第二金属层与所述第一导电层接触，且所述第二金属层形成于所述第一导电层背离所述衬底的一侧，所述第二金属层、所述第二栅极在所述衬底上的正投影至少部分交叠。

6.根据权利要求5所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括所述第一金属层和所述第二金属层，所述第一金属层、所述第二金属层和所述第一导电层采用一次掩膜工艺制备形成。

7.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述第一导电层、所述第二导电层的材质为透明导电材料，所述阵列基板还包括第三金属层，所述第三金属层与所述第二导电层接触，且所述第三金属层形成于所述第二导电层背离所述衬底的一侧，所述第三金属层、所述第一栅极在所述衬底上的正投影至少部分交叠。

8.根据权利要求7所述的阵列基板，其特征在于，所述第三金属层、所述第二导电层采用同一次掩膜工艺制备形成。

9.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的阵列基板。

10.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求9所述的显示面板。