[发明专利]一种硅片位置检测装置

权利要求书

1.一种硅片位置检测装置，其特征在于，所述装置包括底座、竖直支架、设置在所述竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器，

所述竖直支架的一端与所述底座固定连接，所述竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器对齐设置，且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间，

所述放置台用于承放硅片盒，所述硅片盒内放置有多个硅片，所述放置台与所述移动件连接，在所述电机的转动下带动移动件移动来控制所述放置台沿竖直方向运动，以使所述硅片盒内的多个硅片依次通过所述可移动空间；

控制器根据所述信号接收器对应的探测时间，确定所述多个硅片在所述硅片盒内的放置情况。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述硅片盒包括上面板、下面板、第一侧面板和第二侧面板，第一侧面板的第一侧边与上面板的第一侧边固定连接，第一侧面板的第二侧边与下面板的第一侧边固定连接，第二侧面板的第一侧边与上面板的第二侧边固定连接，第二侧面板的第二侧边与下面板的第二侧边固定连接，

其中，所述第一侧面板的第一侧边与第一侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，第二侧面板的第一侧边与第二侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，上面板的第一侧边与上面板的第二侧边为相对的两个侧边，下面板的第一侧边与下面板的第二侧边为相对的两个侧边，

在第一侧面板的多个预设位置处设置有硅片放置槽，在第二面侧板与第一面侧板的多个预设位置对齐的位置处设置有硅片放置槽，多个硅片分别放置在第一侧面板的多个放置槽和第二侧面板的多个放置槽之间所形成的多个插槽中。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，第一侧面板的多个预设位置之间的间距为标准间距值，第二侧面板的多个预设位置之间的间距为标准间距值。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器与所述电机连接，

其中，所述控制器通过以下方式控制电机转动带动移动件来控制所述放置台沿竖直方向运动：

控制电机转动以使所述放置台移动至第一高度；

控制电机以预定转动速度和预定转动方向进行转动，带动移动件控制放置台以预定速度沿竖直方向运动；

判断所述放置台是否移动至第二高度；

若所述放置台移动至第二高度，则控制电机停止转动。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测时间包括多个有效信号探测时间段和多个无效信号探测时间段，

其中，有效信号探测时间段用于指示在该时间段内有硅片通过所述可移动空间，无效信号探测时间段用于指示在该时间段内没有硅片通过所述可移动空间。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制器通过以下方式根据所述信号接收器对应的探测时间，确定每个硅片在所述硅片盒内的放置情况：

判断在每个硅片检测时间段内是否包括有效信号探测时间段；

针对每个硅片检测时间段，若该硅片检测时间段内不包括有效信号探测时间段，则根据该硅片检测时间段，确定与该硅片检测时间段对应的硅片插槽的位置，并确定该位置的硅片插槽为空槽。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述控制器还执行以下步骤：

针对每个硅片检测时间段，若该硅片检测时间段内包括有效信号探测时间段，则计算所述有效信号探测时间段的时间长度，并判断所述有效信号探测时间段的时间长度是否超过参考时间长度；

针对每个硅片检测时间段，若所述有效信号探测时间段的时间长度超过参考时间长度，则确定与该硅片检测时间段对应的硅片插槽的位置，并确定该位置的硅片插槽内的硅片为叠放放置。