[发明专利]一种晶圆检测机台的量测数据校准方法、装置及设备

权利要求书

1.一种晶圆检测机台的量测数据校准方法，其特征在于，包括：

获取基准图形及所述基准图像对应的可靠边缘图案；

利用待校机台对所述基准图形进行扫描，得到量测边缘图案；

将所述可靠边缘图案及所述量测边缘图案置于同一坐标系下，且所述可靠边缘图案的中心与所述量测边缘图案的中心重合；

以重合的中心为原点，计算所述可靠边缘图案及所述量测边缘图案在多个预设方向上的边缘距离差；

根据所述预设方向及对应的边缘距离差，对所述待校机台进行校准；

所述根据所述预设方向及对应的边缘距离差，对所述待校机台进行校准包括：

确定所述量测边缘图案在各个所述预设方向上的方向截距；

根据所述方向截距及所述边缘距离差，确定各个预设方向对应的校正比，所述校正比为所述边缘距离差与对应的方向截距的比值；

根据所述预设方向及对应的校正比，对所述待校机台进行校准；

所述获取基准图形及所述基准图像对应的可靠边缘图案包括：

接收基准图形；

利用可靠机台对所述基准图形进行扫描，得到附加坐标系的可靠边缘图案；

相应地，所述利用待校机台对所述基准图形进行扫描，得到量测边缘图案包括：

利用待校机台对所述基准图形进行扫描，得到附加坐标系的量测边缘图案；

相应地，所述将所述可靠边缘图案及所述量测边缘图案置于同一坐标系下，且所述可靠边缘图案的中心与所述量测边缘图案的中心重合包括：

将所述量测边缘图案及所述可靠边缘图案合并于同一坐标系；

计算所述量测边缘图案的量测中心坐标，并计算所述可靠边缘图案的可靠中心坐标；

根据所述量测中心坐标及所述可靠中心坐标，调整所述量测边缘图案和/或所述可靠边缘图案的位置，使所述可靠边缘图案的中心与所述量测边缘图案的中心重合；

所述计算所述量测边缘图案的量测中心坐标，并计算所述可靠边缘图案的可靠中心坐标包括：

获取所述量测边缘图案的量测纵轴最大值、量测纵轴最小值、量测横轴最大值及量测横轴最小值；

计算所述量测纵轴最大值及所述量测纵轴最小值的平均值，得到量测中心坐标的纵坐标；

计算所述量测横轴最大值及所述量测横轴最小值的平均值，得到量测中心坐标的横坐标；

获取所述可靠边缘图案的可靠纵轴最大值、可靠纵轴最小值、可靠横轴最大值及可靠横轴最小值；

计算所述可靠纵轴最大值及所述可靠纵轴最小值的平均值，得到可靠中心坐标的纵坐标；

计算所述可靠横轴最大值及所述可靠横轴最小值的平均值，得到可靠中心坐标的横坐标；

相应地，所述根据所述量测中心坐标及所述可靠中心坐标，调整所述量测边缘图案和/或所述可靠边缘图案的位置，使所述可靠边缘图案的中心与所述量测边缘图案的中心重合包括：

根据所述量测中心坐标的纵坐标及所述可靠中心坐标的纵坐标，确定纵轴调整值；

根据所述量测中心坐标的横坐标及所述可靠中心坐标的横坐标，确定横轴调整值；

根据所述纵轴调整值及所述横轴调整值，调整所述量测边缘图案和/或所述可靠边缘图案的位置，使所述可靠边缘图案的中心与所述量测边缘图案的中心重合。

2.如权利要求1所述的晶圆检测机台的量测数据校准方法，其特征在于，所述利用待校机台对所述基准图形进行扫描，得到量测边缘图案包括：

利用待校机台对所述基准图形进行扫描，得到扫描图像；

利用梯度下降法，对所述扫描图像进行边缘提取，得到量测边缘图案。