[发明专利]一种引线框架卷式蚀刻工艺有效

专利信息
申请号: 202310543129.6 申请日: 2023-05-15
公开(公告)号: CN116525497B 公开(公告)日: 2023-09-29
发明(设计)人: 康小明;康亮;张博 申请(专利权)人: 天水华洋电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 代理人: 陆华
地址: 741020 甘肃省天水*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 引线 框架 蚀刻 工艺
【权利要求书】:

1.一种引线框架卷式蚀刻工艺,其特征在于,该引线框架蚀刻工艺包括以下步骤:

步骤一:选材,选取铜材基板,进行水洗除尘的表面清洗;

步骤二:涂布,将油膜涂布或者压膜在铜材质上面;

步骤三:曝光,通过光聚合反应将菲林上面需要蚀刻的引线框架转移到基材上;

步骤四:显影,显影后进入蚀刻机进行蚀刻;

步骤五:通过蚀刻机用蚀刻液对铜材进行腐蚀,有感光油膜或者干膜的保护,将引线框架线路、图形进行腐蚀成型;

步骤六:脱膜,通过脱膜装置脱去铜材上的感光膜;

其中步骤六中所述脱膜装置包括机壳(1),所述机壳(1)内底端对称固定连接有第一内壳(2)和第二内壳(3),所述机壳(1)左端设置有引线框架(4),所述引线框架(4)右端从所述机壳(1)左端穿入后依次穿过所述第一内壳(2)和所述第二内壳(3),所述引线框架(4)右端从机壳(1)右侧穿出,所述机壳(1)两端设置有用于限位所述引线框架(4)位置的定位机构;

所述第一内壳(2)顶端设置有用于喷射强碱溶液的第一喷射器,所述第二内壳(3)顶端设置有用于喷射清洗液的第二喷射器,所述第一内壳(2)内壁在所述第一喷射器的右侧阵列固定连接有两个基座(5),所述基座(5)两端分别与所述第一内壳(2)两侧固定连接,所述基座(5)顶端固定连接有壳体(6),所述壳体(6)左侧顶端具有弧形安装槽(8),所述弧形安装槽(8)内转动连接有化学吸液棉辊(9),所述化学吸液棉辊(9)与所述引线框架(4)顶端接触,所述化学吸液棉辊(9)内固定连接有转动轴(10),所述转动轴(10)端部贯穿所述第一内壳(2)和所述机壳(1)并与所述第一内壳(2)和所述机壳(1)转动连接,两个所述转动轴(10)端部共同设置有用于驱动所述转动轴(10)转动的第一驱动机构,所述壳体(6)左侧底端阵列固定连通有多个吸头(11),所述壳体(6)右侧顶端阵列固定连通有多个喷头(12),所述壳体(6)右侧顶端对称固定连通有L形喷射管(13),所述L形喷射管(13)顶端喷口与所述引线框架(4)顶面平齐,所述吸头(11)的端部固定安装有第一单向阀(1101),所述喷头(12)、所述L形喷射管(13)端部、所述弧形安装槽(8)的内壁底端均固定连通有第二单向阀(14),两个所述壳体(6)内壁均滑动连接有活塞板(15),两个所述活塞板(15)侧壁共同设置有用于推动所述活塞板(15)沿壳体(6)内滑动的第二驱动机构,所述第一内壳(2)右端底部设置有第一排料机构,所述第二内壳(3)侧壁设置有第二排料机构。

2.根据权利要求1所述的一种引线框架卷式蚀刻工艺,其特征在于,所述引线框架(4)的右端依次穿过所述机壳(1)左端和所述第一内壳(2)左端并从所述第一内壳(2)右端顶部穿出,所述引线框架(4)右端从所述第二内壳(3)左侧顶端穿入随后沿水平延伸至所述第二内壳(3)右侧并从所述第二内壳(3)右侧顶端穿出,所述引线框架(4)右端穿过所述机壳(1)右侧壁,所述机壳(1)的内侧壁、所述第一内壳(2)的内侧壁和所述第二内壳(3)的内侧壁在所述引线框架(4)转折处分别转动连接有限位辊(16),所述限位辊(16)表面与所述引线框架(4)底端接触,所述第二内壳(3)两侧固定连接有超声波振板(17)。

3.根据权利要求1所述的一种引线框架卷式蚀刻工艺,其特征在于,第一驱动机构包括电机(18),所述电机(18)固定连接在所述机壳(1)外壁上,所述电机(18)的输出轴端部与对应位置上所述转动轴(10)固定连接,两个所述所述转动轴(10)表面同步轮共同传动连接有同步带(19)。

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