[发明专利]一种芯片生产用塑封机有效
申请号: | 202310557999.9 | 申请日: | 2023-05-18 |
公开(公告)号: | CN116313851B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 孙传碑;杨碧霞;杨淑爱 | 申请(专利权)人: | 广东中科启航技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/687 |
代理公司: | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人: | 李斌 |
地址: | 528225 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 生产 塑封 | ||
1.一种芯片生产用塑封机,包括工字型塑封架、用于塑封芯片的塑封本体和用于夹持多个芯片的夹持组件,所述工字型塑封架包括上架体、中间杆架和下底座,上架体和下底座分别固定在中间杆架的两端部,夹持组件的一端部与中间杆架相连接,其特征在于,还包括托座、安装组件和翻面机构;
所述安装组件滑动设在上架体上且安装组件能够上下伸缩,塑封本体设在安装组件上且伸缩的安装组件能够驱使塑封本体上下移动;
所述翻面机构设在中间杆架上且翻面机构能够在电机驱动下转动,所述夹持组件和安装组件均与翻面机构相连接;
转动的翻面机构能够驱使夹持组件由处于中间杆架一侧转动至另一侧,且夹持组件在中间杆架的两侧均处于水平状态;
夹持组件在绕中间杆架转动时,翻面机构还拨动安装组件在上架体上移动;
所述托座为两个并以中间杆架为对称中心对称设在下底座上,在塑封本体塑封夹持组件上的芯片时,托座用于托起夹持组件。
2.根据权利要求1所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,所述翻面机构包括翻转轴、转接轴、拨杆件和带传动件;
所述翻转轴和转接轴均转动设在中间杆架上且翻转轴由电机驱动旋转,翻转轴与转接轴之间通过带传动件相传动连接;
夹持组件的一端与翻转轴侧部固定连接,拨杆件一端与转接轴的端部固定连接;
拨杆件远离转接轴的端部具有条形孔,所述安装组件的侧壁上设有穿过条形孔的侧向柱。
3.根据权利要求2所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,所述上架体的两端均具有限位器,在安装组件与限位器触碰时,电机停止驱动翻转轴旋转,夹持组件刚好转动至托座上并处于水平状态。
4.根据权利要求1所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,述夹持组件包括承托框架、固定筒体、横向滑杆件、调节件和多个夹持杆条;
所述承托框架一边侧通过固定筒体与中间杆架转动连接;
所述横向滑杆件设在承托框架中部且横向滑杆件上设置有多个在其上滑动的夹持滑座,夹持滑座与夹持杆条一一对应且夹持杆条一端部与相对应的夹持滑座相连;
所述调节件设在承托框架上并与多个夹持滑座相连,调节件用于驱使多个夹持滑座同步移动并调节相邻两个夹持滑座之间的间距。
5.根据权利要求4所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,所述夹持杆条的边侧壁上具有侧向夹槽且侧向夹槽内部填充有隔垫。
6.根据权利要求4所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,所述调节件包括调节滑板件和至少一个调节气缸;
所述调节滑板件在承托框架上滑动且调节滑板件的端面上设置有多个弧形分布的调节通槽,调节通槽中心线的相交点位于最中间的夹持杆条中线上;
每个夹持滑座上均设置有多个凸柱且凸柱对应穿过调节通槽,调节气缸安装在承托框架上且调节气缸伸缩端与调节滑板件相连。
7.根据权利要求1所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,所述托座包括承托箱体、承托带和多个转动设在承托箱体内部承托转轴;
所述承托转轴上设置有托起棍,承托带环绕在多个托起棍外侧,其中一个承托转轴的端部设置有下料电机。
8.根据权利要求1所述的芯片生产用塑封机,其特征在于,所述安装组件包括滑座件、传动转轴和两个吊杆件;
所述滑座件滑动设在上架体上且传动转轴转动设在滑座件上,传动转轴上设置有第一齿轮部和第二齿轮部;
两个吊杆件顶端部与滑动穿过滑座件,吊杆件底端部与塑封本体相连接,其中给一个吊杆件侧壁上设有与第二齿轮部相啮合的纵向齿条;
所述上架体的两端部分别设置有上齿条和下齿条,其中,上齿条和下齿条分别位于上架体上下侧且上齿条和下齿条能够与第一齿轮部交替啮合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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