[发明专利]一种六英寸晶圆裂片机及裂片方法

权利要求书

1.一种六英寸晶圆裂片机，其特征在于，包括：

机体，所述机体上设有适于放置晶圆的工作台；

所述机体上还安装有刀头装置、视觉定位装置、视觉识别装置、第一驱动装置、第二驱动装置；

所述刀头装置包括适于对晶圆裂片的劈刀；

所述视觉定位装置适于调整晶圆在工作台上的角度及位置；

所述视觉识别装置适于识别晶圆上待裂解区域的图像；

所述工作台安装在第一驱动装置的驱动端上，所述刀头装置安装在所述第二驱动装置的驱动端上。

2.根据权利要求1所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述机体上设有承载平台，所述工作台滑动安装在所述承载平台上。

3.根据权利要求2所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一电机和X轴导轨，所述第一电机和X轴导轨安装在所述承载平台上，所述工作台滑动安装在所述X轴导轨上，所述第一电机的驱动端适于驱动工作台在所述X轴导轨上滑动。

4.根据权利要求3所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述X轴导轨包括第一丝杠和第一滑块，所述第一电机的驱动端与第一丝杠连接，所述第一电机适于驱动第一丝杠转动，所述第一滑块在第一丝杠转动时沿第一丝杠轴向移动，所述工作台安装在第一滑块上。

5.根据权利要求2所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述第二驱动装置包括第二电机和Y轴导轨，所述第二电机和Y轴导轨安装在所述承载平台上，所述刀头装置滑动安装在所述Y轴导轨上，所述第二电机的驱动端适于驱动刀头装置在所述Y轴导轨上滑动。

6.根据权利要求5所述的晶圆裂片机，其特征在于，还包括有Z轴导轨，所述Z轴导轨滑动安装在所述六英寸Y轴导轨上，所述刀头装置滑动安装在所述Z轴导轨上，所述Z轴导轨的滑动方向与Y轴导轨的滑动方向互相垂直。

7.根据权利要求5所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述Y轴导轨包括第二丝杠和第二滑块，所述第二电机的驱动端与第二丝杠连接，所述第二电机适于驱动第二丝杠转动，第二滑块在第二丝杠转动时沿第二丝杠轴向移动，所述刀头装置安装在第二滑块上。

8.根据权利要求1所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述视觉识别装置为全视野相机。

9.根据权利要求1所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，所述工作台上开设有气孔，所述气孔适于连通抽真空装置。

10.裂片方法，包括权利要求1-9中任一项所述的六英寸晶圆裂片机，其特征在于，还包括以下步骤：

晶圆放置在工作台上，视觉定位装置调整晶圆的位置及角度；

视觉识别装置识别晶圆上待裂解区域的图像；

在第一驱动装置的驱动下，工作台携带校正位置后的晶圆移动至刀头装置对应的位置；

通过刀头装置中的劈刀对晶圆进行裂解。