[发明专利]一种蒸镀设备和坩埚

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括：

腔室底座；

加热源，所述加热源设置在所述腔室底座上；

至少一个坩埚存放位，所述坩埚存放位与所述热源呈中心对称地设置在所述腔室底座上；以及，

坩埚更换装置，所述坩埚更换装置包括设置在所述腔室底座上的升降旋转组件和设置在所述升降旋转组件上的坩埚移位支架；其中，所述升降旋转组件位于所述加热源与所述坩埚存放位的对称中心处；所述坩埚移位支架包括与所述坩埚存放位和所述加热源的数量之和相对应的支臂，所述支臂呈中心对称地设置在所述升降旋转组件上，每个所述支臂设有与所述加热源或所述坩埚存放位位置相对应的移位固定部。

2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述移位固定部开设有卡槽，所述卡槽的开口均朝向所述支臂旋转时的顺时针方向侧，或，所述卡槽的开口均朝向所述支臂旋转时的逆时针方向侧。

3.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述卡槽在所述腔室底座上的正投影为正方形或弧形。

4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述正方形的边长或所述弧形的宽度比坩埚本体的外径大1mm～2mm。

5.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，与同一个所述加热源呈中心对称设置的所述坩埚存放位的数量为2个至4个。

6.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热源包括加热腔；所述坩埚存放位包括坩埚存放腔，所述坩埚存放腔的大小与所述加热腔的大小相同。

7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述升降旋转组件包括升降连杆和旋转连杆；其中，所述升降连杆可升降地设置在所述腔室底座上，所述旋转连杆可旋转地设置在所述升降连杆上；或者，所述旋转连杆可旋转地设置在所述腔室底座上，所述升降连杆可升降地设置在所述旋转连杆上。

8.如权利要求1至7任意一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：

多个翻转挡板，所述翻转挡板与所述加热源和所述坩埚存放位相对应地设置在所述腔室底座上，且所述翻转挡板在所述腔室底座上的正投影分别覆盖所述加热源和所述坩埚存放位。

9.如权利要求8所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热源的数量为两个以上，每个所述加热源对应至少一个所述坩埚存放位和一个所述坩埚更换装置，每个所述加热源对应的所述坩埚更换装置旋转时互不干扰。

10.一种坩埚，其特征在于，所述坩埚与权利要求1至9任意一项所述的蒸镀设备相配合，所述坩埚包括：

坩埚本体，所述坩埚本体包括坩埚腔，所述坩埚本体的顶部设有连通所述坩埚腔的坩埚口；和，

卡接限位部，所述卡接限位部绕设在所述坩埚口的四周。

11.如权利要求10所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚还包括：

导热分隔板，所述导热分割板设置所述坩埚腔内，所述导热分割板的端部与所述坩埚腔的内壁贴合，所述导热分割板上开设有通孔。

12.如权利要求11所述的坩埚，其特征在于，所述导热分割板包括至少一个第一导热板和至少一个第二导热板，所述第一导热板沿第一方向分布在所述坩埚腔内，所述第二导热板沿第二方向分布在所述坩埚腔内，所述第一方向与所述第二方向不同。

13.如权利要求11所述的坩埚，其特征在于，所述导热分割板的端部设有导热加强部，所述导热加强部的形状与所述坩埚腔的内壁相匹配。