[发明专利]一种蒸镀设备和坩埚

说明书

本申请公开了一种蒸镀设备和坩埚，蒸镀设备包括：腔室底座；加热源，加热源设置在腔室底座上；至少一个坩埚存放位，坩埚存放位与热源呈中心对称地设置在腔室底座上；以及，坩埚更换装置，坩埚更换装置包括设置在腔室底座上的升降旋转组件和设置在升降旋转组件上的坩埚移位支架；其中，升降旋转组件位于加热源与坩埚存放位的对称中心处；坩埚移位支架包括与坩埚存放位和加热源的数量之和相对应的支臂，支臂呈中心对称地设置在升降旋转组件上，每个支臂设有与加热源或坩埚存放位位置相对应的移位固定部。通过坩埚更换装置使坩埚存放位的坩埚可以依次被移动至加热源中用于蒸镀，在更换蒸镀材料时可以避免需要开腔操作。

技术领域

本申请属于显示器制造技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备和坩埚。

背景技术

开展有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)的研究或制备时，在制造量大或实验量较大时，或者由于坩埚容量有限，或者由于需要评价的蒸镀材料或器件结构种类较多，无法避免的需要开腔以添加蒸镀材料、更换蒸镀材料或更换坩埚，甚至需要不止一次开腔。然而，实验用的蒸镀设备自动化程度高，腔室多，无法装入手套箱，开腔时，蒸镀腔室内部暴露在空气环境中，空气中的水对于有机材料非常致命，会严重影响OLED器件的寿命，开腔后一般在第三天后，腔室环境才能达到最佳状态。为了减弱开腔对于器件性能的影响且不严重影响实验进度，在相关技术中，在开腔换料后，使腔室在真空状态下保持12小时，期间对腔室中的材料进行预蒸镀，以0.5A/s的速度蒸出50A，去除残留水分和杂质。

以上方案虽然可以在一定程度上减轻开腔的影响，但蒸镀腔条件还是不够理想，且只能横向对比，导致器件研究数据不够理想，同时还存在浪费实验时间、浪费蒸镀材料的缺陷。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本申请旨在至少能够在一定程度上解决蒸镀设备需要频繁开腔影响蒸镀质量和进程的技术问题。为此，本申请提供了一种蒸镀设备和坩埚。

本申请实施例提供的一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：腔室底座；加热源，所述加热源设置在所述腔室底座上；至少一个坩埚存放位，所述坩埚存放位与所述热源呈中心对称地设置在所述腔室底座上；以及，坩埚更换装置，所述坩埚更换装置包括设置在所述腔室底座上的升降旋转组件和设置在所述升降旋转组件上的坩埚移位支架；其中，所述升降旋转组件位于所述加热源与所述坩埚存放位的对称中心处；所述坩埚移位支架包括与所述坩埚存放位和所述加热源的数量之和相对应的支臂，所述支臂呈中心对称地设置在所述升降旋转组件上，每个所述支臂设有与所述加热源或所述坩埚存放位位置相对应的移位固定部。

在一些实施方式中，所述移位固定部开设有卡槽，所述卡槽的开口均朝向所述支臂旋转时的顺时针方向侧，或，所述卡槽的开口均朝向所述支臂旋转时的逆时针方向侧。

在一些实施方式中，所述卡槽在所述腔室底座上的正投影为正方形或弧形。

在一些实施方式中，所述正方形的边长或所述弧形的宽度比坩埚本体的外径大1mm～2mm。

在一些实施方式中，与同一个所述加热源呈中心对称设置的所述坩埚存放位的数量为2个至4个。

在一些实施方式中，所述加热源包括加热腔；所述坩埚存放位包括坩埚存放腔，所述坩埚存放腔的大小与所述加热腔的大小相同。

在一些实施方式中，所述升降旋转组件包括升降连杆和旋转连杆；其中，所述升降连杆可升降地设置在所述腔室底座上，所述旋转连杆可旋转地设置在所述升降连杆上；或者，所述旋转连杆可旋转地设置在所述腔室底座上，所述升降连杆可升降地设置在所述旋转连杆上。