[发明专利]一种用于半导体芯片加工贴片装置在审
申请号: | 202310593414.9 | 申请日: | 2023-05-25 |
公开(公告)号: | CN116504680A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 刘金鹏 | 申请(专利权)人: | 江苏海康博瑞电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/50 |
代理公司: | 徐州卓冠知识产权代理事务所(普通合伙) 32668 | 代理人: | 李先林 |
地址: | 221005 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 芯片 加工 装置 | ||
1.一种用于半导体芯片加工贴片装置,包括锡膏刮板(1)、焊盘(2)和激光钢网(3),其特征在于,还包括:
压滚机构(4),设置于锡膏刮板(1)的底部,通过开设于锡膏刮板(1)侧面的进料口(15),通过对经过的焊膏进行初步刮除和设置于进料口(15)内部的从动辊(43)和传动辊(42)对焊膏进行挤压除气泡,并通过设置于锡膏刮板(1)底部的驱动压辊(41)对除去气泡的焊膏在焊盘(2)表面的孔槽进行压实;
离心机构(44),设置于从动辊(43)的内部,通过焊膏的流动性变化对从动辊(43)的转速造成影响,从动辊(43)转速变慢时通过设置于从动辊(43)内部的加热电阻丝(431)加热对焊膏进行加热软化提高焊膏的流动性。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述锡膏刮板(1)的外部设置有固定的工作台,工作台上固定安装有驱动电机(12),所述驱动电机(12)的输出端连接有螺纹驱动杆(13),所述螺纹驱动杆(13)与锡膏刮板(1)的顶部螺纹连接,所述锡膏刮板(1)的顶部与工作台之间还设置有两组用于限位的滑轴,所述锡膏刮板(1)的内部设置有控制器(14),所述锡膏刮板(1)的侧面开设有进料口(15),所述压滚机构(4)包括驱动压辊(41),所述锡膏刮板(1)的底部开设有与进料口(15)相连通的空腔,所述驱动压辊(41)通过一组转动轴承设置于锡膏刮板(1)内部的空腔,所述锡膏刮板(1)的内部通过轴承转动连接有两组分布于进料口(15)内部上下两侧的从动辊(43)和传动辊(42),所述从动辊(43)的内部还设置有与从动辊(43)内侧壁相贴合的加热电阻丝(431)。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述锡膏刮板(1)的底部空腔与进料口(15)相对应的一侧设置有刮刀(45),所述刮刀(45)贴近锡膏刮板(1)中线部分朝着锡膏刮板(1)边缘的部分厚度逐渐变薄,且所述锡膏刮板(1)的侧壁开设有与锡膏刮板(1)内部空腔和刮刀(45)边缘部分相连通的方槽。
4.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述驱动压辊(41)和传动辊(42)延伸至锡膏刮板(1)内部的部分通过多组啮合的齿轮传动连接。
5.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述从动辊(43)的内部为空腔设置,所述从动辊(43)的内部设置有一组加热电阻丝(431),所述离心机构(44)设置于从动辊(43)内部边缘位置,所述离心机构(44)包括固定滑槽(441),所述固定滑槽(441)的内部限位活动套接有活动滑块(442),所述活动滑块(442)与固定滑槽(441)的内侧壁之间固定连接有拉伸弹簧(446),所述固定滑槽(441)的侧壁固定安装有一组延伸至固定滑槽(441)内部的固定导电片(445),所述活动滑块(442)的内部固定安装有一组与固定滑槽(441)两侧壁相接触的固定铜块(443),所述固定滑槽(441)远离固定导电片(445)一侧的内侧壁设置有一组与活动滑块(442)和固定铜块(443)相活动限位套接的限位滑杆(444)。
6.根据权利要求5所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述加热电阻丝(431)与控制器(14)之间保持电连接,所述从动辊(43)两端与锡膏刮板(1)接触部分为铜质材质构件,且所述锡膏刮板(1)内部与从动辊(43)连接部分也为铜制材质构建,且所述锡膏刮板(1)的铜制区域设置有与控制器(14)相接触电连接的导电线,所述固定导电片(445)与从动辊(43)内壁其中一侧铜制部分通过一组导电线连接,所述限位滑杆(444)通过一组导电线与从动辊(43)另一端铜制材质部分相连接。
7.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述驱动压辊(41)的表面沿驱动压辊(41)的轴心线设置有多组柔性辊。
8.根据权利要求5所述的一种用于半导体芯片加工贴片装置,其特征在于,所述固定滑槽(441)设置于从动辊(43)的内部,且所述固定滑槽(441)的底部与从动辊(43)的轴心线相平齐。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造