[发明专利]自适应调整抛光头以及抛光装置

权利要求书

1.自适应调整抛光头，用于弥补安装于抛光垫座(4)上的抛光垫的安装偏差，其特征在于，包括：

第一固定块(1)；所述第一固定块(1)设置有沿着轴向贯穿的阶梯腔，所述阶梯腔包括同轴设置的大径段和小径段；

第二固定块(2)，所述第二固定块(2)滑接在所述大径段内，所述第二固定块(2)的尺寸小于所述大径段的尺寸，所述第二固定块(2)背离所述小径段的一侧具有抵接凸块(21)；

第三固定块(3)，所述第三固定块(2)与所述第一固定块(1)连接以封堵所述大径段的开口处，所述第三固定块(3)面向所述大径段的一侧设置有与所述抵接凸块(21)的端面配合的抵接槽(31)，所述抵接凸块(21)能够抵接在所述抵接槽(31)内自由偏转；所述第三固定块(3)背离所述抵接槽(31)的一侧连接有所述抛光垫座(4)。

2.根据权利要求1所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述抵接凸块(21)的端面为球弧面，所述抵接槽(31)为圆锥形槽。

3.根据权利要求1所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述第二固定块(2)背离抵接凸块(21)的一侧设置有沿轴向的第一进液孔(22)以连接外部供液装置，所述第二固定块(2)的侧部还设置有与所述第一进液孔(22)连通的第一导液孔(23)；所述抛光垫座(4)的端面还设置有若干分液孔(41)，所述第一导液孔(23)连接有贯穿所述第一固定块(1)的第一导管接头(5)的一端，所述第一导管接头(5)的另一端连接所述分液孔(41)。

4.根据权利要求3所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述抛光垫座(4)上设置有第二进液孔(42)，所述第二进液孔(42)连接所述第一导管接头(5)，所述抛光垫座(4)内设置有分液通道(43)，所述第二进液孔(42)和若干所述分液孔(41)通过所述分液通道(43)连通，所述第二进液孔(42)与若干所述分液孔(41)设置在所述抛光垫座(4)的相对面。

5.根据权利要求4所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述第三固定块(3)的侧部设置有第二导液孔(32)，所述第二导液孔(32)插接有第二导管接头(6)，所述第一导管接头(5)与所述第二导管接头(6)连通，所述第三固定块(3)背离所述抵接槽(31)的端面设置有出液孔(33)，所述出液孔(33)的一端与所述第二导液孔(32)连通，所述出液孔(33)的另一端连通所述第二进液孔(42)。

6.抛光装置，其特征在于，包括权利要求1-5任一所述的自适应调整抛光头以及连接驱动件(40)的中心轴(7)，所述中心轴(7)穿过所述小径段与所述第二固定块(2)可拆卸连接，所述第一固定块(1)背离所述抵接凸块(21)的端面设置有若干第二插接孔(11)，所述中心轴(7)上设置有与所述第二插接孔(11)相对的第一插接孔(71)，所述第二插接孔(11)的孔的尺寸大于所述第一插接孔(71)的孔的尺寸。

7.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述第二固定块(2)位于所述小径段的端面设置有若干第三插接孔(24)，所述中心轴(7)上设置有与所述第三插接孔(24)相对的第四插接孔(72)。

8.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述中心轴(7)轴向贯穿设置有流液通道(73)。

9.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，还具有挡水环(20)，所述挡水环(20)包括上遮挡部(201)和侧遮挡部(202)，所述侧遮挡部(202)垂直于所述上遮挡部(201)，所述上遮挡部(201)覆盖于所述抛光垫座(4)的部分上端面并向上延伸至所述自适应调整抛光头的顶部，所述侧遮挡部(202)遮挡所述抛光垫座(4)的侧部。

10.根据权利要求9所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光垫座(4)上端面外边缘的最大偏角以及所述抛光垫座(4)的侧面的最大偏角均大于所述第一固定块(1)上端端面外边缘的最大偏角、所述第一固定块(1)上端端面的内边缘的最大偏角、所述大径段上端边缘的最大偏角和所述大径段下端边缘的最大偏角。