[发明专利]工艺腔室控压设备标定方法、标定装置及半导体工艺设备

权利要求书

1.一种工艺腔室控压设备标定方法，用于标定基准位置，其特征在于，所述控压设备包括驱动电机和用于调节所述工艺腔室的气压的阀门，所述标定方法包括：

在所述控压设备断电后重新上电时，获取所述阀门在上电前的停机开度数据；

根据所述停机开度数据，确定所述阀门的当前开度；

计算所述阀门的开度由所述当前开度达到预设开度对应的所述驱动电机的运转参数的目标调节值；

控制所述驱动电机的运转参数达到所述目标调节值，使得所述阀门的阀板移动至所述预设开度对应的基准位置。

2.根据权利要求1所述的标定方法，其特征在于，所述在所述控压设备断电后重新上电时，获取所述阀门在上电前的停机开度数据，包括：

在所述控压设备断电后重新上电时，判断是否存储有所述阀门在上电前的停机开度数据；

若存储有所述停机开度数据，获取所述阀门在上电前的停机开度数据。

3.根据权利要求2所述的标定方法，其特征在于，所述判断是否存储有所述阀门在上电前的停机开度数据，包括：

判断是否存储有所述阀门在历史时段内的历史开度数据；其中，所述历史时段包含断电时刻；

若存储有所述阀门的历史开度数据，判断根据所述历史开度数据是否能够确定所述停机开度数据。

4.根据权利要求2所述的标定方法，其特征在于，在所述控压设备断电后重新上电时，判断是否存储有所述阀门在上电前的停机开度数据之后，还包括：

若未存储所述停机开度数据，控制所述阀板以第一速度沿第一方向移动；

判断所述阀板是否到达机械限位；

在所述阀板到达所述机械限位时，控制所述阀板以第二速度沿第二方向由所述机械限位移动至所述基准位置；其中，所述第一方向与所述第二方向相反。

5.根据权利要求4所述的标定方法，其特征在于，所述判断所述阀板是否到达机械限位，包括：

实时检测所述驱动电机的实际运行量和控制请求运行量；

判断所述实际运行量与所述控制请求运行量的差值是否大于预设阈值；

在所述差值大于预设阈值时，判断所述阀板到达机械限位。

6.根据权利要求5所述的标定方法，其特征在于，所述在所述差值大于预设阈值时，判断所述阀板到达机械限位，包括：

在预设时长内的多个所述差值均大于所述预设阈值时，判断所述阀板到达机械限位。

7.根据权利要求4所述的标定方法，其特征在于，所述第一速度小于所述第二速度。

8.根据权利要求2所述的标定方法，其特征在于，在所述控压设备断电后重新上电时，判断是否存储有所述阀门在上电前的停机开度数据之后，还包括：

若未存储所述停机开度数据，控制计时器开始计时；

在计时时长达到设定时段时所述阀板未移动至机械限位，发出报警信息，报警信息用于提示标定失败。

9.根据权利要求8所述的标定方法，其特征在于，所述设定时段为标准时长与增益系数的乘积；

其中，所述标准时长为所述阀板以第一速度由全关位置移动至全开位置所需的时长，所述增益系数大于等于1。

10.根据权利要求1-9任一项所述的标定方法，其特征在于，所述在所述控压设备断电后重新上电时，获取所述阀门在上电前的停机开度数据，包括：

在所述控压设备断电后重新上电时，判断所述控压设备是否为断电后首次重新上电；

若所述控压设备为断电后首次重新上电，控制所述控压设备进入基准位置标定模式；

在所述控压设备进入所述基准位置标定模式时，获取所述阀门在上电前的停机开度数据。