[发明专利]一种集成电路的可靠性测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种集成电路的可靠性测试装置，包括工作台和设置在工作台上的测试机构，其特征在于，所述工作台上设置有用于支撑待测件的支撑组件和与支撑组件四个方向分别对应的四个限位组件，工作台的内部设置有用于带动支撑组件转动的控制组件；启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位，再启动控制组件通过剩余一个限位组件可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转。

2.根据权利要求1所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述支撑组件包括用于放置待测件的平台和固定安装在工作台上的四个底座，四个底座位于平台的四个方向且与四个限位组件位置对应；平台的四个侧面均固定安装有支杆，支杆的内部固定安装有与底座活动贴合的圆杆。

3.根据权利要求2所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，每个侧面的所述支杆数量均为两个，底座位于两个支杆之间均与两个支杆均活动贴合，底座的顶面开设有以供圆杆安置的凹陷。

4.根据权利要求2所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述限位组件包括固定安装在工作台上的壳体，壳体的内部滑动安装有与底座位置对应的滑板，滑板的底部延伸至工作台的内部并与控制组件位置对应，滑板的表面与壳体之间固定安装有第一弹簧。

5.根据权利要求4所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述壳体和工作台之间共同开设有以供滑板滑动的滑槽，滑板基于滑槽可沿着工作台的径向方向往复滑动；当滑块滑动至与底座的顶面贴合后，可配合底座形成对圆杆的限位使得圆杆只能自转动。

6.根据权利要求2-5任意一项所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述控制组件包括与工作台固定连接的电机，电机的输出轴固定安装有悬臂，悬臂远离电机的端部固定安装有可与其中三个滑板活动贴合的弧形杆，悬臂的表面设置有用于带动平台转动的气缸。

7.根据权利要求6所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述弧形杆的端部设置有倒角，当弧形杆与限位组件接触时通过倒角可带动限位组件远离底座解除对圆杆的限位。

8.根据权利要求6所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述气缸与悬臂固定连接，且气缸的输出端与平台的底面活动贴合，使得气缸带动平台的可转动角度小于90度。

9.根据权利要求6所述的集成电路的可靠性测试装置，其特征在于，所述气缸与悬臂和平台的底面之间均呈转动连接，使得气缸带动平台的可转动角度大于90度且小于180度。

10.一种集成电路的可靠性测试方法，采用如权利要求1-9任意一项所述的测试装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1、先将待测件放到支撑组件上，然后启动控制组件与其中三个限位组件接触，使得这三个限位组件解除对支撑组件三个对应方向的限位；

S2、再启动控制组件通过剩余一个限位组件，可带动支撑组件向未被解除限位的方向偏转；

S3、继续启动控制组件改变方向可调整支撑组件未被解除限位的方向，进而使得支撑组件可带动待测件向不同的方向偏转。