[发明专利]一种自对准结构及半导体轨道类传输手臂

说明书

本申请提供了一种自对准结构及半导体轨道类传输手臂，属于机械臂输送结构领域。该自对准结构，包括基板、驱动电机和抓取座。所述基板的下端面设置有往复移动组件；所述驱动电机设置于所述基板的上端面，且所述驱动电机的输出轴与所述往复移动组件驱动连接；所述抓取座连接于所述往复移动组件，且所述抓取座的侧壁开设有进料槽。本申请通过驱动电机驱动往复移动组件和抓取座进行往复移动，使半导体工件可可以对准抓取座表面的进料槽，更利于半导体工件进入到进料槽内，无需再调控机械臂对基板的位置进行微调。

技术领域

本申请涉及机械臂输送结构领域，具体而言，涉及一种自对准结构及半导体轨道类传输手臂。

背景技术

一般来说，半导体广泛应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域，在生产半导体时，半导体工件（如晶圆等）需要通过输送机从上一加工工位输出，然后由机械臂抓取后移动到下一加工工位。

而机械臂在抓取输送机输送的半导体工件时，需要使用传感器感应半导体工件的位置，然后再对机械臂进行微调，使机械臂的抓取部对准半导体工件才可进行抓取，这样的传输手臂结构附着，其中传感器需要极高的灵敏度，在使用时非常的不方便。

发明内容

为了弥补以上不足，本申请提供了一种自对准结构及半导体轨道类传输手臂，旨在改善半导体工件不便抓取的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种自对准结构，包括基板、驱动电机和抓取座。所述基板的下端面设置有往复移动组件；所述驱动电机设置于所述基板的上端面，且所述驱动电机的输出轴与所述往复移动组件驱动连接；所述抓取座连接于所述往复移动组件，且所述抓取座的侧壁开设有进料槽。

在上述实现过程中，该驱动电机为伺服电机，且该驱动电机用于驱动往复移动组件进行往复移动，从而对抓取座进行往复移动，在由输送机对半导体工件进行输送时，由机械臂对基板进行移动，将抓取座移动到输送机的输送端，输送机输送的半导体工件便可以移动到抓取座表面的进料槽内，而驱动电机驱动往复移动组件和抓取座进行往复移动时，会使半导体工件对准抓取座表面的进料槽，更利于半导体工件进入到进料槽内，无需再调控机械臂对基板的位置进行微调。

在一种具体的实施方案中，所述往复移动组件包括往复移动杆和旋转轴，所述往复移动杆滑动安装在所述基板的下端面，所述往复移动杆与所述抓取座连接，所述旋转轴设置有两个，两个所述旋转轴均转动连接于所述基板，且两个所述旋转轴分布在所述往复移动杆的两侧，两个所述旋转轴均键连接有扇形齿轮，所述往复移动杆的两侧设置有与所述扇形齿轮相对应的齿部，所述驱动电机的输出轴与所述旋转轴传动连接。

在上述实现过程中，驱动电机驱动两个旋转轴转动时，会带动两个扇形齿轮转动，则会使两个扇形齿轮依次与往复移动杆啮合连接，而往复移动杆与不同的扇形齿轮啮合连接时，移动方向不同，则会使往复移动杆进行往复移动，便可以驱动抓取座进行往复移动。

在一种具体的实施方案中，所述驱动电机的输出轴和两个所述旋转轴均键连接有圆形齿轮，且所述圆形齿轮之间啮合传动。

在上述实现过程中，圆形齿轮的设置，使得驱动电机可驱动旋转轴进行转动。

在一种具体的实施方案中，所述基板的下端面设置有限位座，所述往复移动杆的端部从所述限位座的内部滑动穿过。

在上述实现过程中，设置限位座，用于限制往复移动杆的移动，使往复移动杆移动的更加稳定。

在一种具体的实施方案中，所述往复移动杆为槽型杆件，且所述往复移动杆的两端向下延伸与所述抓取座连接。

在上述实现过程中，往复移动杆的两个端部均与抓取座连接，可使往复移动杆和抓取座之间连接的更稳定。

在一种具体的实施方案中，所述进料槽沿所述抓取座的长度方向间隔设置有至少两个。