[发明专利]显示基板及其制作方法、显示装置

说明书

本发明提供一种显示基板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，用于解决显示产品中位于较深过孔内的导电膜层连续性较差，容易发生断裂的问题。所述显示基板包括：依次层叠设置的第一衬底，第一导电层，第二衬底，无机绝缘层和第二导电层；所述显示基板还包括：过孔结构和填充层，所述过孔结构贯穿所述无机绝缘层和所述第二衬底，所述第二导电层通过所述过孔结构与所述第一导电层耦接；所述填充层覆盖所述过孔结构的内壁，所述填充层位于所述过孔结构的内壁与所述第二导电层之间。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示基板及其制作方法、显示装置。

背景技术

随着显示技术的不断发展，显示产品的应用范围越来越广泛，相应的对显示产品的显示质量和信赖性的要求越来越高。

显示产品中一般会包括较深的过孔，而该较深的过孔可能会同时贯穿显示产品中的无机层和有机层，由于无机层与有机层的弹性模量及应力差异较大，导致位于该较深的过孔内的导电膜层容易在无机层与有机层的交界处发生断裂。而且由于孔深较大，刻蚀毛刺等问题，也会导致导电膜层连续性较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显示基板及其制作方法、显示装置，用于解决显示产品中位于较深过孔内的导电膜层连续性较差，容易发生断裂的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的第一方面提供一种显示基板，包括：依次层叠设置的第一衬底，第一导电层，第二衬底，无机绝缘层和第二导电层；所述显示基板还包括：

过孔结构，所述过孔结构贯穿所述无机绝缘层和所述第二衬底，所述第二导电层通过所述过孔结构与所述第一导电层耦接；

填充层，所述填充层覆盖所述过孔结构的内壁，所述填充层位于所述过孔结构的内壁与所述第二导电层之间。

可选的，所述过孔结构包括第一过孔和第二过孔，所述第二过孔位于所述第一过孔与所述第一衬底之间，所述第一过孔贯穿所述无机绝缘层中的第一子膜层，所述第二过孔贯穿所述无机绝缘层中的第二子膜层和所述第二衬底；

所述第二子膜层在所述第二过孔远离所述第一衬底的边缘处形成凸台，所述填充层覆盖所述凸台，补偿所述凸台在所述过孔结构内壁形成的段差。

可选的，所述无机绝缘层包括沿远离所述第一衬底的方向依次层叠设置的阻隔层、缓冲层、栅极绝缘层和层间绝缘层；所述第一子膜层包括所述缓冲层、所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层中的至少一层，所述第二子膜层包括除所述第一子膜层包括的膜层之外的剩余膜层；

所述显示基板还包括晶体管结构，所述晶体管结构的源漏电极通过第三过孔与所述晶体管结构的有源层耦接；所述第二导电层与所述源漏电极同层同材料设置。

可选的，所述第二导电层包括正电源信号线、负电源信号线和数据线中的至少一种。

基于上述显示基板的技术方案，本发明的第二方面提供一种显示装置，包括上述显示基板。

基于上述显示基板的技术方案，本发明的第三方面提供一种显示基板的制作方法，用于制作上述显示基板，所述制作方法包括：

制作依次层叠设置的第一衬底，第一导电层，第二衬底和无机绝缘层；

制作过孔结构，所述过孔结构贯穿所述无机绝缘层和所述第二衬底；

制作填充层，所述填充层覆盖所述过孔结构的内壁；

制作第二导电层，所述第二导电层通过所述过孔结构与第一导电层耦接，所述填充层位于所述过孔结构的内壁与所述第二导电层之间。

可选的，所述无机绝缘层包括第一子膜层和第二子膜层；制作所述过孔结构的步骤具体包括：