[发明专利]一种IC芯片分选机在审
申请号: | 202310715877.8 | 申请日: | 2023-06-16 |
公开(公告)号: | CN116581064A | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 杨迪武 | 申请(专利权)人: | 深圳市威科伟业电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B5/02;B08B15/04 |
代理公司: | 深圳维启专利代理有限公司 44827 | 代理人: | 郭诗恩 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ic 芯片 分选 | ||
1.一种IC芯片分选机,其特征在于,包括:机架(1)以及转动连接于机架(1)上的载物盘(2),所述载物盘(2)呈透明状,所述机架(1)上设有用于驱动载物盘(2)转动的驱动机构,所述机架(1)上位于载物盘(2)的外侧沿载物盘(2)的转动方向依次设有用于将芯片送至载物盘(2)上的上料机构、用于检测芯片的检测机构以及用于将芯片分类收集的收集机构,所述上料机构包括设于机架(1)上的振动盘(31)与导轨(32),所述导轨(32)靠近振动盘(31)的一端与振动盘(31)相接,所述导轨(32)靠近载物盘(2)的一端与载物盘(2)相接,所述导轨(32)由振动盘(31)一侧朝载物盘(2)一侧逐渐降低,所述检测机构包括设于机架(1)上的两分别位于载物盘(2)上方与载物盘(2)下方的探头(4),两所述探头(4)均朝向载物盘(2)。
2.根据权利要求1所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:两所述探头(4)与载物盘(2)之间均设有聚光灯(41),两所述聚光灯(41)均朝向载物盘(2)。
3.根据权利要求2所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述机架(1)上设有底座(42),所述底座(42)上沿载物盘(2)径向滑动连接有竖轨(43),所述竖轨(43)上螺纹连接有第一螺栓(44),所述第一螺栓(44)端部抵紧于底座(42)上,所述竖轨(43)上沿载物盘(2)轴向滑动连接有横轨(45),所述横轨(45)上螺纹连接有第二螺栓(46),所述第二螺栓(46)端部抵紧于竖轨(43)上,所述聚光灯(41)设于横轨(45)端部。
4.根据权利要求1所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述载物盘(2)内侧设有负压环(51),所述负压环(51)内设有负压腔(52),所述负压腔(52)的开口朝向载物盘(2)顶部。
5.根据权利要求4所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述载物盘(2)内侧设有正压环(53),所述正压环(53)内设有正压腔(54),所述正压腔(54)的开口朝向载物盘(2)底部。
6.根据权利要求5所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述机架(1)上设有抽风机(61),所述抽风机(61)上设有进风管(62)与出风管(63),所述进风管(62)与负压腔(52)相连通,所述出风管(63)与正压腔(54)相连通。
7.根据权利要求6所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述进风管(62)内设有滤网(64),所述滤网(64)的迎风侧转动连接有叶轮(65),所述叶轮(65)上靠近滤网(64)的一侧设有刮板(66),所述刮板(66)抵接于滤网(64)上。
8.根据权利要求7所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述进风管(62)包括两分别与负压腔(52)、抽风机(61)相连的固定管(67),两所述固定管(67)之间设有活动管(68),两所述固定管(67)相靠近的一端均套设有螺纹筒(69),两所述螺纹筒(69)分别螺纹连接于活动管(68)两端,所述滤网(64)设于活动管(68)内。
9.根据权利要求1所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述收集机构包括设于机架(1)上的位于载物盘(2)内侧的电动推杆(71),所述电动推杆(71)的输出轴上设有拨片(72),所述机架(1)上沿载物盘(2)的转动方向依次设有两盒体(73),两所述盒体(73)位于载物盘(2)外侧,两所述盒体(73)分别用于收集合格芯片与不合格芯片,所述机架(1)上位于载物盘(2)与两盒体(73)之间设有滑轨(74),所述滑轨(74)靠近载物盘(2)的一端与载物盘(2)相接,所述滑轨(74)靠近两盒体(73)的一端与两盒体(73)相接,所述滑轨(74)由载物盘(2)一侧朝两盒体(73)一侧逐渐降低,所述滑轨(74)上设有两分别与两盒体(73)相对应的出料口(75),所述滑轨(74)上设有用于控制两出料口(75)启闭的控制组件。
10.根据权利要求9所述的一种IC芯片分选机,其特征在于:所述控制组件包括分别滑动连接于两出料口(75)处的挡板(76),所述滑轨(74)上设有两第一电磁片(77),两所述挡板(76)上均设有第二电磁片(78),两所述第二电磁片(78)分别与两第一电磁片(77)相吸。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造