[发明专利]一种蓝膜晶圆盘固定装置

权利要求书

1.一种蓝膜晶圆盘固定装置，包括安装座(1)，所述安装座(1)上安装有能够转动的下盘(2)，其特征在于：所述下盘(2)的上端连接有上盘(3)，所述上盘(3)上带有能够置入蓝膜晶圆盘(21)的进料口(15)，所述上盘(3)的下端面设有负压环槽腔(4)及吸盘片(5)，吸盘片(5)覆盖负压环槽腔(4)且吸盘片(5)上设有与负压环槽腔(4)相通的多个真空吸附孔(6)；所述下盘(2)外设有与安装座(1)相固定的外圈(7)，所述外圈(7)的一侧设有与真空源相通的负压接头(8)，所述负压接头(8)通过下盘(2)中的内部通道及上盘(3)中的内部通道与负压环槽腔(4)相通。

2.根据权利要求1所述的一种蓝膜晶圆盘固定装置，其特征在于：所述下盘(2)的下端连接有从动带轮(9)，所述安装座1上安装有伺服电机(10)，所述伺服电机(10)的输出轴上连接有主动带轮(11)，所述主动带轮(11)与从动带轮(9)之间通过同步带(12)连接。

3.根据权利要求1所述的一种蓝膜晶圆盘固定装置，其特征在于：所述外圈(7)的另一侧设有光电开关(13)，所述外圈(7)的上端面上设有圆弧形限位槽(14)，上盘(3)上设有位于限位槽(14)内的限位销，所述光电开关(13)用于检测上盘(3)是否处于初始位置。

4.根据权利要求1所述的一种蓝膜晶圆盘固定装置，其特征在于：所述上盘(3)的进料口(15)是从上盘(3)向外延伸的直线滑道。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的一种蓝膜晶圆盘固定装置，其特征在于：所述外圈(7)上设有取料豁口(16)。

6.根据权利要求1、2、3或4所述的一种蓝膜晶圆盘固定装置，其特征在于：所述安装座(1)上设有用于安装下盘(2)的安装通孔(17)，所述安装通孔(17)的侧壁内安装有3个对下盘(2)支撑并限位的轴承(18)，3个轴承(18)沿安装通孔(17)周向均匀分布。

7.根据权利要求6所述的一种蓝膜晶圆盘固定装置，其特征在于：所述轴承(18)的外壁设有V形槽(19)，所述下盘(2)的外壁设有与V形槽(19)相适配的V形凸棱(20)。