[发明专利]掺杂浓度测量方法、装置、电子设备及存储介质

权利要求书

1.一种掺杂浓度测量方法，用于对测量点的掺杂浓度进行测量，其特征在于，包括步骤：

S101，获取测量点的数量和位置坐标；

S102，根据所述数量和所述位置坐标，对测量点进行拍照，得到所述测量点的位置图片；

S103，基于所述位置图片，对所述测量点进行坐标修正，得到修正坐标后的测量点；

S104，对所述修正坐标后的测量点进行测量，得到所述修正坐标后的测量点的掺杂浓度数据。

2.根据权利要求1所述的掺杂浓度测量方法，其特征在于，步骤S103包括：

A1，判断所述位置图片是否存在缺陷信息；若是，执行步骤A2；若否，执行步骤A3；

A2，对存在缺陷信息的位置图片对应测量点的位置坐标进行修正，并选择修正后的位置坐标对应的位置图片作为待判断位置图片，返回执行步骤A1；

A3，确定不存在缺陷信息的位置图片对应的测量点为所述修正坐标后的测量点。

3.根据权利要求2所述的掺杂浓度测量方法，其特征在于，缺陷信息的判断方法包括机器判断法或经验判断法。

4.根据权利要求2所述的掺杂浓度测量方法，其特征在于，步骤A2包括：

B1，将所述存在缺陷信息的位置图片对应测量点的位置坐标由直角坐标转化为对应的极坐标；

B2，基于所述极坐标，计算极坐标角度差值，得到修正后的位置坐标；

B3，获取所述修正后的位置坐标对应的位置图片，并将所述修正后的位置坐标对应的位置图片设置为所述待判断位置图片，返回执行步骤A1。

5.根据权利要求4所述的掺杂浓度测量方法，其特征在于，所述计算极坐标角度差值的方法包括距离计算法；步骤B2包括：

C1，基于所述极坐标，结合预设距离，计算得到所述极坐标角度差值；

C2，将所述极坐标的极坐标角度和所述极坐标角度差值相加，计算得到修正后的极坐标；

C3，将所述修正后的极坐标由极坐标转化为对应的直角坐标，得到所述修正后的位置坐标。

6.根据权利要求4所述的掺杂浓度测量方法，其特征在于，所述计算极坐标角度差值的方法包括准则设置法；步骤B2包括：

D1，根据预设的角度差值准则，确定所述极坐标角度差值；

D2，将所述极坐标的极坐标角度和所述极坐标角度差值相加，计算得到修正后的极坐标；

D3，将所述修正后的极坐标由极坐标转化为对应的直角坐标，得到所述修正后的位置坐标。

7.根据权利要求1所述的掺杂浓度测量方法，其特征在于，步骤S103之后，还包括：

对任一存在缺陷信息的位置图片对应的测量点进行多次的坐标修正和掺杂浓度测量，以验证坐标修正的测量点的掺杂浓度数据的准确性。

8.一种掺杂浓度测量装置，用于对测量点的掺杂浓度进行测量，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取测量点的数量和位置坐标；

拍照模块，用于根据所述数量和所述位置坐标，对测量点进行拍照，得到所述测量点的位置图片；

修正模块，用于基于所述位置图片，对所述测量点进行坐标修正，得到修正坐标后的测量点；

测量模块，用于对所述修正坐标后的测量点进行测量，得到所述修正坐标后的测量点的掺杂浓度数据。

9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器和存储器，所述存储器存储有所述处理器可执行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时，运行如权利要求1-7任一项所述掺杂浓度测量方法中的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时运行如权利要求1-7任一项所述掺杂浓度测量方法中的步骤。