[发明专利]一种全自动半导体检测设备

说明书

本发明公开了一种全自动半导体检测设备，包括机柜，机柜上部设有检测位，检测位上设有旋转台，旋转台上设有多个工位，且其一侧布设有上料机构和下料机构，另一侧周围布设有多个检测机构，上料机构的内侧设有上料搬运机构，下料机构内侧设有下料搬运机构，上料机构移送物料到上料搬运机构处，上料搬运机构将产品移动到工位上，旋转台旋转，带动工位移动经过检测机构，并到达下料搬运机构处，所述下料搬运机构将产品分拣到下料机构上，所述下料机构将产品移送到设备外。本发明提供的全自动半导体检测设备具有旋转台、上料机构、下料机构、上料搬运机构、下料搬运机构，能够自动上下料、自动分拣，实现全自动检测。

技术领域

本发明涉及产品瑕疵检测设备技术领域，具体为一种全自动半导体检测设备。

背景技术

小尺寸产品由于个体尺寸小，检测时移动和定位困难，所以如何实现精准高效的检测，一直是生产者的追求，例如半导体检测。半导体产品的外观瑕疵检测一直是大家非常注重的，但目前行业中所采用的检测设备大部分为皮带线在线检测，或者搭配玻璃转盘来实现一些规则产品的检测。

上述检测方式的弊端在于，首先，不能对产品进行全方位检测，如公开(公告)号：CN110702695A公开的半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具以及公开(公告)号：CN110779931A公开的半导体瑕疵检测设备。其次，检测效率比较低，无法持续自动上下料。

发明内容

本发明针对上述现有技术存在的问题，提供一种全自动半导体检测设备。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种全自动半导体检测设备，包括机柜所述机柜上部设有检测位，所述检测位上设有旋转台，所述旋转台上设有多个工位，且其一侧布设有上料机构和下料机构，另一侧周围布设有多个检测机构，所述上料机构的内侧设有上料搬运机构，所述下料机构内侧设有下料搬运机构，所述上料机构移送物料到上料搬运机构处，所述上料搬运机构将产品移动到工位上，所述旋转台旋转，带动工位移动经过检测机构，并到达下料搬运机构处，所述下料搬运机构将产品分拣到下料机构上，所述下料机构将产品移送到设备外。

进一步地，所述旋转台包括旋转座，所述旋转座的上部设有第一环形安装盘，下部设有第二环形安装盘，所述旋转座下方设有第一驱动器，所述第一驱动器驱动旋转座转动，所述旋转座带动第一环形安装盘和第二环形安装盘转动，所述工位设置在第一环形安装盘和第二环形安装盘上。

进一步地，所述工位包括多个托座，多个所述托座安装在第一环形安装盘上，所述第二环形安装盘上设有驱动系统，所述托座和驱动系统连接，所述驱动系统驱动托座旋转。

进一步地，托座上还设有产品托盘，所述产品托盘和托座可拆卸连接。

进一步地，所述驱动系统包括依次布设的多个驱动单体，相邻驱动单体之间设有导向轮，所述驱动单体和导向轮通过传动皮带依次传动连接，任一驱动单体和第二驱动器连接，第二驱动器驱动其带动传动皮带移动，传动皮带带动剩余驱动单体自转。

进一步地，所述下料机构包括合格品下料通道和次品下料通道，所述包括上料机构合格品下料通道、次品下料通道均包括固定架，固定架上设有传送带组件，传送带组件的一侧设有驱动轮组件，驱动轮组件和第三驱动器连接。

进一步地，上料搬运机构和下料搬运机构均包括支撑架一，所述支撑架一上设有面板，所述面板上开设有倒置的U形滑槽，所述U形滑槽的下方设有滑台，悬臂滑动式设置在滑台上，其上端滑动式设置在U形滑槽中，所述悬臂的下端还连接有拾取组件，第四驱动器通过连接板和悬臂上端连接，并通过驱动连接板带动悬臂上端在U形滑槽中滑动，进而使得悬臂同时升降和水平移动。

进一步地，所述上料搬运机构的下方还设有底部检测机构，所述底部检测机构包括检测台，所述检测台的下方设有检测器，所述检测器的检测端朝向检测台。