[实用新型]晶圆转移装置

权利要求书

1.一种晶圆转移装置，其特征在于，包括：

载台(10)，所述载台(10)上设置有用于容置晶圆(90)的第一容置件(20)和第二容置件(30)；

机械臂(40)，所述机械臂(40)可移动地设置在所述载台(10)的上方，所述机械臂(40)具有真空吸盘(50)，用于将所述第一容置件(20)内的所述晶圆(90)吸附并转移至所述第二容置件(30)内；

检测元件(60)，所述检测元件(60)设置在所述机械臂(40)上，用于获取所述第一容置件(20)内待转移的所述晶圆(90)的位置和所述第二容置件(30)内能放置所述晶圆(90)的位置。

2.如权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆转移装置还包括支架(70)，所述支架(70)设置在所述载台(10)的一侧且所述支架(70)的至少一部分伸入所述载台(10)的上方，所述机械臂(40)与所述支架(70)可移动地连接。

3.如权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述支架(70)包括第一滑轨(71)，所述机械臂(40)与所述第一滑轨(71)可移动地连接。

4.如权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述机械臂(40)包括第一臂(41)和第二臂(42)，所述第一臂(41)远离所述第二臂(42)的一端与所述支架(70)可移动地连接，所述第二臂(42)与所述第一臂(41)可移动地连接。

5.如权利要求4所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述第一臂(41)包括第二滑轨(411)，所述第二臂(42)与所述第二滑轨(411)可移动地连接。

6.如权利要求4所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述第二臂(42)相对于所述第一臂(41)的移动方向与所述机械臂(40)相对于所述支架(70)的移动方向相垂直。

7.如权利要求4所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述真空吸盘(50)设置在所述第二臂(42)远离所述第一臂(41)的一端。

8.如权利要求4所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述检测元件(60)设置在所述第一臂(41)靠近所述第二臂(42)的一端。

9.如权利要求1至8中任一项所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述载台(10)开设有凹槽(11)，所述第一容置件(20)和/或所述第二容置件(30)放置在所述凹槽(11)内，所述凹槽(11)内设置有固定所述第一容置件(20)和/或所述第二容置件(30)的卡扣结构(12)。

10.如权利要求1至8中任一项所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆转移装置还包括控制器(80)，所述控制器(80)分别与所述机械臂(40)和所述检测元件(60)电连接。

11.如权利要求1至8中任一项所述的晶圆转移装置，其特征在于，

所述第一容置件(20)为晶圆卡夹；和/或

所述第二容置件(30)为ALD载具。